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热灯丝辅助射频等离子体CVD法生长立方氮化硼膜的研究
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微细加工技术 1994年 第2期 47-50页
作者： 廖克俊 王万录 兰州大学物理系
本文对热灯丝（热电子）辅助射频等离子体ＣＶＤ法制备的立方氮化硼（ｃ－ＢＮ）薄膜进行了研究。实验结果表明，ｃ－ＢＮ膜的质量与膜沉积条件有密切的关系。并对其结果作了简要讨论。
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大气压射频等离子体中活性物种的发射光谱原位诊断
大气压射频等离子体中活性物种的发射光谱原位诊断
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术...
作者： 刘忠伟 李斌 陈强 李朝阳 王正铎 北京印刷学院等离子体物理与材料实验室
利用发射光谱技术在大气压下测量了以氩气为工作气体并添加了少量空气(含量小于0.5%)射频放电(电容耦合等离子体,CCP)产生的OH(AΣ→XП,0-0带)自由基和激发态的N(CПu→BПg,第二正带)的发射光谱。由N的Δv=-2和Δv=-3振
来源： cnki会议 评论
感应耦合射频等离子体
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力学进展 1988年 第2期 259-285页
作者： Maher I.Boulos,朱清文 加拿大Sherbrooke大学化工系
评述了感应耦合射频等离子体的基本原理和主要设计特点。对不同研究者在确定放电区的电磁场、温度、速度和浓度分布时所作的诊断测量给予了特别重视。通过对数学模拟的讨论,对提出的不同模型和所得典型结果给出了总的看法。简要评述了... 详细信息
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感应耦合射频等离子体(英)
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电炉 1986年 第4期 53-56页
作者： 朱清文 中国科学院力学研究所
本文根据Maher Ⅰ.Boulos的“感应耦合射频等离子体”一文,重点介绍其中的感应耦合射频等离子体的基本原理,主要的设计特点和应用部分。
来源： 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
大气压射频等离子体的频率与尺度效应
大气压射频等离子体的频率与尺度效应
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第十五届全国等离子体科学技术会议
作者： 张远涛 何金 赵彤 李清泉 山东大学电气学院山东省特高压技术与气体放电重点实验室
大气压射频放电因具有诸多优势,日益成为一种备受关注的大气压非平衡等离子体产生方式,展示了广阔的应用前景。本文采用一维流体模型来研究同功率条件下大气压射频放电等离子体的频率与尺度效应。为了保证相同功率,本文发展了一种保持... 详细信息
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三探针法诊断射频低压等离子体电子平均能量
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清华大学学报(自然科学版) 1988年 第5期 11-18页
作者： 朱文浩 谢鸿 曹明 工程力学系
研究电子能量非麦克斯威分布且存在射频干扰下，用三探针诊断低压等离子体电子 平均能量的方法．计算了三探针的理论特性曲线并求得了确定电子平均能量的表达式； 提出了估计电子能量分布特征指数的近似方法：对射频低压氮等离子体，测... 详细信息
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射频偏压等离子体鞘层流体动力学模拟
射频偏压等离子体鞘层流体动力学模拟
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第八届真空冶金与表面工程学术会议
作者： 吕少波 李明 姚红冉 蔺增 巴德纯 东北大学
基于本中心RF500型镀膜机,采用流体动力学方法建立了一种自洽的无碰撞射频直流偏压等离子体鞘层动力学模型。模型中考虑了极板直流负偏压对离子运动的影响,这使得该模型能够在不同偏压条件下模拟射频鞘层内各参量的时空演化。另外,与其... 详细信息
来源： cnki会议 评论
射频放电下CO2加氢冷等离子体转化的研究
射频放电下CO2加氢冷等离子体转化的研究
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作者： 杨大伟 重庆大学
学位级别：硕士
CO2作为碳及含碳化合物的最终氧化产物，无论是从碳资源综合利用角度，还是从环境污染控制来讲，研究开发其转化利用具有极为重要的意义。等离子体化学反应技术是现代化工领域发展迅速的重要反应技术，本文将射频放电等离子体这一低温... 详细信息
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SiO2-Si界面射频等离子体退火性质研究
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Journal of Semiconductors 1980年 第2期 163-164页
作者： 郑有炓,吴凤美,苏宗禾 南京大学物理系
众所周知,SiO2-Si结构中界面态和固定界面电荷以及SiO2中的陷阱电荷,强烈影响硅平面型器件的性能及其稳定性.因此用退火来降低这些电荷中心是非常重要的.我们用氧气氛低压辉光放电产生的射频等离子体对SiO2-Si界面退火(简称RFP退火).实验
来源： 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
射频感性耦合等离子体源的研发
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数字通信世界 2019年 第3期 121-122页
作者： 吴祖光 马自达 乌云额尔德尼 郭方准 臧侃 大连交通大学机械工程学院 大连116028
本文介绍了自主研发的射频感性耦合等离子体源(RF-ICP)原理、设计和相关测试结果。RF-ICP主要由真空放电室、电感线圈(射频天线)、气体导入组件和射频电源及功率匹配器构成等组件构成。RF-ICP工作时,线圈电流产生的高频磁场在放电室内... 详细信息
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