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文献类型

  • 4 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 4 篇 理学
    • 4 篇 物理学
  • 4 篇 工学
    • 4 篇 光学工程

主题

  • 4 篇 封闭条纹
  • 1 篇 相位提取
  • 1 篇 二维小波脊
  • 1 篇 相位展开
  • 1 篇 对准
  • 1 篇 包裹相位
  • 1 篇 干涉测量
  • 1 篇 极坐标
  • 1 篇 二维解析小波变换
  • 1 篇 信息光学
  • 1 篇 条纹图像
  • 1 篇 测量
  • 1 篇 区域延拓
  • 1 篇 光刻
  • 1 篇 开放条纹
  • 1 篇 二维fft
  • 1 篇 坐标变换
  • 1 篇 相位解析

机构

  • 3 篇 中国科学院光电技...
  • 2 篇 中国科学院研究生...
  • 1 篇 特殊环境机器人技...
  • 1 篇 四川大学
  • 1 篇 西南科技大学

作者

  • 3 篇 徐锋
  • 3 篇 胡松
  • 2 篇 周绍林
  • 1 篇 苏显渝
  • 1 篇 徐文祥
  • 1 篇 罗正全
  • 1 篇 赵文川

语言

  • 4 篇 中文
检索条件"主题词=封闭条纹"
共 4 条 记 录，以下是1-10 订阅
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单幅圆条纹相位展开光刻对准研究
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光子学报 2014年 第11期43卷 135-140页
作者： 徐锋 胡松 西南科技大学信息工程学院 四川绵阳621010 特殊环境机器人技术四川省重点实验室 四川绵阳621010 中国科学院光电技术研究所 成都610209
针对光刻对准中产生的单幅封闭干涉条纹经相位解析后获得的包裹相位,提出在极坐标系对其进行相位展开进而获得对准偏移量的方法.该方法首先将对准过程中两圆光栅相对移动产生条纹的相位分布从直角坐标系转换到极坐标系;其次分析在极坐... 详细信息
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光刻对准中干涉条纹相位解析研究
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光学学报 2012年 第2期32卷 116-121页
作者： 徐锋 胡松 周绍林 徐文祥 中国科学院光电技术研究所 四川成都610209 中国科学院研究生院 北京100049
针对光刻对准中双光栅产生的具有多频率的干涉条纹,提出了一种基于二维解析小波变换进行条纹分析的方法。该方法首先通过二维小波变换的多尺度对条纹的多频率进行分析,并通过解析小波基函数将条纹的幅度与相位进行分离,最终通过二维小... 详细信息
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闭合条纹图的傅立叶分析方法
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激光杂志 2007年 第1期28卷 66-67页
作者： 赵文川 苏显渝 四川大学光电科学技术系 成都610064
在基于条纹投影的傅里叶变换轮廓术(FTP)方法中,相位信息叠加在载波条纹中,即必须存在载波条纹。当干涉图中条纹以闭合形式存在,由于没有载频存在,不能直接采用傅立叶条纹分析方法恢复物光波的相位信息。本文采用极坐标的坐标变换方法,... 详细信息
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条纹图像相位提取方法研究
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微纳电子技术 2010年 第9期47卷 573-579页
作者： 徐锋 胡松 罗正全 周绍林 中国科学院光电技术研究所 成都610209 中国科学院研究生院 北京100039
条纹图像的相位提取在现代干涉测量中起着十分重要的作用。从算法原理、研究现状和适用范围等几个方面对比分析了现有的几种条纹图像的相位提取方法,包括相移法、载波法和基于经典算法的相位提取方法。经分析发现,相移法理论上具有较高... 详细信息
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