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  • 1 篇 工学
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主题

  • 1 篇 场致电子发射
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  • 1 篇 导电探针
  • 1 篇 粒子扩散
  • 1 篇 阳极氧化扩散
  • 1 篇 表面修饰
  • 1 篇 原子力显微镜
  • 1 篇 纳米加工
  • 1 篇 afm

机构

  • 1 篇 江苏大学

作者

  • 1 篇 蔡兰
  • 1 篇 杨继昌
  • 1 篇 李长生
  • 1 篇 范真
  • 1 篇 朱守星
  • 1 篇 丁建宁

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=导电探针"
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用AFM导电探针在n-Si(111)表面进行纳米加工的机理研究
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电子显微学报 2003年 第3期22卷 202-205页
作者： 朱守星 丁建宁 范真 李长生 蔡兰 杨继昌 江苏大学微纳米科技研究中心 江苏镇江212013
本文介绍了在AFM针尖与氢钝化硅表面之间施加电场作用对硅表面进行修饰的纳米加工方法 ,重点讨论了加工机理。实验考虑了样品的表面状态 ,周围大气状况 ,所加电压的极性、大小和加压方式等影响纳米加工的因素。对机理的研究表明 ,针尖... 详细信息
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