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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程

主题

  • 1 篇 物像距
  • 1 篇 像面照度均匀性
  • 1 篇 棱镜
  • 1 篇 对称混合型光学系...

机构

  • 1 篇 沈阳芯源微电子设...
  • 1 篇 佛山科学技术学院
  • 1 篇 季华实验室

作者

  • 1 篇 伍雁雄
  • 1 篇 魏浩东
  • 1 篇 李延伟
  • 1 篇 陈太喜
  • 1 篇 董雷岗
  • 1 篇 李骏驰
  • 1 篇 李建杰
  • 1 篇 谢新旺

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=对称混合型光学系统"
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超薄超短物像距高分辨率检测成像系统设计与试验
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中国光学（中英文） 2024年 第1期17卷 61-68页
作者： 李延伟 伍雁雄 陈太喜 魏浩东 谢新旺 董雷岗 李骏驰 李建杰 季华实验室 广东佛山528000 佛山科学技术学院 广东佛山528000 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 辽宁沈阳110168
为缩短12寸晶圆检测成像系统的轴向和径向尺寸,提出一种小角度棱镜折转光路与超短物像距镜头相结合的解决方法。设计优于1/12λ(λ=632.8 nm)面形精度的小角度棱镜折转光路,实现照明系统与成像镜头的水平布置,径向尺寸仅为80 mm,在保证... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 博看期刊 评论
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