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  • 1 篇 工学
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 热阻效应
  • 1 篇 原位透射电子显微...
  • 1 篇 密封腔加热芯片
  • 1 篇 微纳加工

机构

  • 1 篇 东南大学

作者

  • 1 篇 李嘉嘉
  • 1 篇 朱炯昊
  • 1 篇 孙立涛
  • 1 篇 贺龙兵
  • 1 篇 卢子煜
  • 1 篇 谢君

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=密封腔加热芯片"
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适用于TEM原位表征的双温区密封腔芯片研制
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传感技术学报 2022年 第12期35卷 1591-1597页
作者: 谢君 李嘉嘉 卢子煜 朱炯昊 贺龙兵 孙立涛 东南大学电子科学与工程学院 江苏南京210096
基于透射电子显微镜的原位表征技术是研究低维电子材料的先进技术方法。虽然该技术已有许多发展,但在透射电子显微镜中原位观察化学气相生长过程一直存在困难,其中一项重要挑战就是如何在电镜真空体中构建微区高压气氛反应环境。研制... 详细信息
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