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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 控制科学与工程
    • 1 篇 软件工程

主题

  • 1 篇 角度误差补偿
  • 1 篇 宏微二级驱动
  • 1 篇 纳米定位
  • 1 篇 六自由度工作台

机构

  • 1 篇 合肥工业大学

作者

  • 1 篇 黄强先
  • 1 篇 黄帅
  • 1 篇 袁钰
  • 1 篇 张昔峰

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=宏微二级驱动"
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具有角度修正功能的大行程二维纳米工作台
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光学精密工程 2013年 第7期21卷 1811-1817页
作者： 张昔峰 黄强先 袁钰 黄帅 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 安徽合肥230009
基于宏微组合驱动方式,提出一种具有角度修正功能的大行程二维纳米工作台设计方案来减小精密测量系统中由于工作台定位及角度误差引入的测量误差。首先,从原理上对设计方案进行了论证。该方案中宏动工作台和微动工作台共用位置反馈系统... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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