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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 大高宽比光栅
  • 1 篇 均匀流场
  • 1 篇 沟槽深宽比
  • 1 篇 摇床式辅助显影

机构

  • 1 篇 中国科学技术大学

作者

  • 1 篇 刘刚
  • 1 篇 侯双月
  • 1 篇 田扬超
  • 1 篇 王艺
  • 1 篇 熊瑛

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=大高宽比光栅"
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大高宽比光栅的摇床式辅助显影工艺
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引用
光学精密工程 2020年 第3期28卷 632-638页
作者： 王艺 侯双月 熊瑛 田扬超 刘刚 中国科学技术大学国家同步辐射实验室 安徽合肥230029
针对大高宽比微结构显影过程中由显影液的对流传质严重受限、光刻胶层厚、显影时间长带来的显影不均匀问题,提出了基于翘板式摇床辅助的显影方法。利用有限元法模拟了摇床工作时整个样品表面的流场分布以及显影液在不同高宽比微结构光... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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