检索结果-南通市图书馆

电子显微学报 2021年第5期40卷 609-615页

作者：郜鲜辉黄高华中科技大学分析测试中心湖北武汉430074 武汉光电国家研究中心湖北武汉430074

在低倍率下对样品进行大面积ebsd测试时,常发现边缘区域标定率较低。为探究大面积ebsd分析中标定率低的影响因素,本文在100倍下选取同一采集区域,将其移至视野不同位置进行ebsd数据采集,结果表明,在测试参数不变的情况下,同一采集区域... 详细信息

在低倍率下对样品进行大面积ebsd测试时,常发现边缘区域标定率较低。为探究大面积ebsd分析中标定率低的影响因素,本文在100倍下选取同一采集区域,将其移至视野不同位置进行ebsd数据采集,结果表明,在测试参数不变的情况下,同一采集区域在不同位置时的标定率差别很大。甚至同一晶粒在不同位置采集时标定的取向也存在差异。分析发现,标定结果存在差异的主要原因是低倍率下,在视野中心电子束处于聚焦状态,而在边缘位置电子束处于散焦状态。电子束散焦时,束斑尺寸增大,激发的背散射电子在射出晶粒尺寸较小的样品表面时,在不同晶粒的不同晶面同时发生衍射,衍射花样会相互干扰,因而导致ebsd花样模糊、宽化、重叠,标定率变差。同时,较大的电子束束斑直径会降低ebsd空间分辨率,因而难以准确反映晶粒取向的细微变化。

关键词：大面积ebsd测试标定率散焦电子束

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