咨询与建议
  • 全部检索
  • 电子图书
  • 电子期刊
  • 纸本馆藏
  • 南通市公共图书馆
高级检索

限定检索结果

文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...
    • 1 篇 信息与通信工程

主题

  • 1 篇 硅基光互连
  • 1 篇 大规模光子集成
  • 1 篇 硅光子技术

机构

  • 1 篇 中国科学院上海微...

作者

  • 1 篇 赵瑛璇
  • 1 篇 武爱民
  • 1 篇 甘甫烷

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=大规模光子集成"
共 1 条 记 录，以下是1-10 订阅
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到"检索档案"
详细 简洁
排序：
基于CMOS平台的硅光子关键器件与工艺研究
收藏
分享
引用
中兴通讯技术 2018年 第4期24卷 8-14页
作者： 赵瑛璇 武爱民 甘甫烷 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海200050
面向互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺兼容的硅基光互连体系,研制了包括光波导、光栅耦合器、刻蚀衍射光栅、偏振旋转分束器、光频梳以及3D互连新器件等的硅光子关键器件,并对相应器件的设计及工艺给出了最新的研究结果。基于以上关键硅... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到“检索档案”
共1页 <<  < 1 >  >>
回到顶部
执行限定条件