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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程

主题

  • 1 篇 光学元件
  • 1 篇 多表面干涉检测
  • 1 篇 平行平板
  • 1 篇 傅里叶变换
  • 1 篇 波长移相
  • 1 篇 面形检测

机构

  • 1 篇 中国工程物理研究...
  • 1 篇 南京理工大学

作者

  • 1 篇 朱日宏
  • 1 篇 任寰
  • 1 篇 郑万国
  • 1 篇 刘旭
  • 1 篇 马力
  • 1 篇 何勇

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=多表面干涉检测"
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排序:
多表干涉下的光学元件面形检测
收藏 引用
光学精密工程 2013年 第5期21卷 1144-1150页
作者: 任寰 马力 刘旭 何勇 郑万国 朱日宏 南京理工大学电子工程与光电技术学院 江苏南京210094 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 四川绵阳621900
为了消除平行平板类光学元件的多表干涉效应对元件面形测量的影响,提出了基于波长移相调谐技术与傅里叶变换原理的多表干涉条纹检测技术。首先,根据波长移相原理和被测元件的厚度,按照推算出的被测腔长与元件厚度间的比例关系正确... 详细信息
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论