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    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 多晶cu膜
  • 1 篇 加载载荷
  • 1 篇 纳米压入
  • 1 篇 硬度
  • 1 篇 晶粒尺寸

机构

  • 1 篇 西安交通大学

作者

  • 1 篇 徐可为
  • 1 篇 王飞

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=多晶Cu膜"
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晶粒尺寸及加载载荷对多晶cu膜纳米压入硬度影响的研究
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纳米科技 2004年 第6期1卷 49-52页
作者： 王飞 徐可为 西安交通大学金属材料强度国家实验室，陕西西安710049
用高真空磁控溅射在Si片上沉积纳米晶cu膜和非纳米晶cu膜，通过纳米压入实验得到薄膜硬度。发现晶粒尺寸对薄膜材料的压痕尺寸效应有比较大的影响，同时随加载载荷的升高，纳米晶薄膜硬度的变化与非纳米晶薄膜有很大的不同。分析认为这... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论
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