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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 石英
  • 1 篇 离子腐蚀
  • 1 篇 多层位相结构
  • 1 篇 混合气体.

机构

  • 1 篇 中国科学院光电技...
  • 1 篇 英国卢瑟福国家实...

作者

  • 1 篇 周明宝
  • 1 篇 d.prewett
  • 1 篇 崔铮

语言

  • 1 篇 英文
检索条件"主题词=多层位相结构"
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Etching Fused Quartz With CHF_3/Ar
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光电工程 1997年 第S1期24卷 64-69,81页
作者： 周明宝 崔铮 D.Prewett 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 英国卢瑟福国家实验室微结构中心
报道了用氟利昂ＣＨＦ３和氩气Ａｒ作工作气体的反应离子刻蚀融石英的技术，研究了气体流速、腔压和射频等离子体功率对刻蚀速度的影响，并分析了刻蚀工艺对样品表面的污染，同时也考察了刻蚀工艺的均匀性和重复性。为了优化刻蚀工艺，... 详细信息
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