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调焦调平传感器增益系数工艺相关性研究

光学学报 2022年第4期42卷 101-108页

作者：孙生生王丹宗明成中国科学院微电子研究所北京100029 中国科学院大学北京100049

针对先进光刻调焦调平传感器系统的增益系数工艺相关性开展理论仿真与实验研究。建立了增益系数工艺相关性理论模型,仿真分析了调焦调平传感器增益系数与测量误差随不同光刻工艺材料膜层厚度的变化规律。在自研实验系统上对表面涂覆不... 详细信息

针对先进光刻调焦调平传感器系统的增益系数工艺相关性开展理论仿真与实验研究。建立了增益系数工艺相关性理论模型,仿真分析了调焦调平传感器增益系数与测量误差随不同光刻工艺材料膜层厚度的变化规律。在自研实验系统上对表面涂覆不同厚度SiO_(2)薄膜的硅片样品进行了实验验证,发现实验与理论仿真得到的增益系数与测量误差随膜层厚度的变化规律一致。仿真与实验研究结果表明,调焦调平传感器的工艺相关性测量误差在SiO_(2)膜层厚度为250 nm和690 nm附近时分别出现约55.9 nm和36.6 nm的误差峰值。采用表面覆盖特定膜层的硅片来标定光刻机调焦调平传感器,可以有效减小增益系数工艺相关性的影响和测量误差。本研究结果对于光刻精密对焦控制、光刻工艺优化具有重要的参考意义。

关键词：测量调焦调平传感器增益系数工艺相关性对焦控制

氘含量对DKDP晶体横向受激拉曼散射增益系数的影响

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物理学报 2015年第3期64卷 351-357页

作者：柴向旭李富全王圣来冯斌朱启华刘宝安孙洵许心光山东大学晶体材料国家重点实验室晶体材料研究所济南250100 中国工程物理研究院激光聚变研究中心绵阳621900

本文测量了不同氘含量K(H1-xDx)2PO4晶体(DKDP晶体)在Z(XX)Y散射配置下的自发拉曼散射光谱,并详细分析了氘含量对与横向受激拉曼散射(TSRS)增益系数有关的拉曼频移、半峰宽和散射强度的影响.然后通过与去离子水拉曼散射对比得出了不同... 详细信息

本文测量了不同氘含量K(H1-xDx)2PO4晶体(DKDP晶体)在Z(XX)Y散射配置下的自发拉曼散射光谱,并详细分析了氘含量对与横向受激拉曼散射(TSRS)增益系数有关的拉曼频移、半峰宽和散射强度的影响.然后通过与去离子水拉曼散射对比得出了不同氘含量DKDP晶体的TSRS增益系数.结果表明随着氘含量的增加DKDP晶体的TSRS增益系数先减小至KDP晶体的40.1%,后增大至68.9%;本文认为掺氘后拉曼半峰宽的变化是引起TSRS增益系数随氘含量变化的主要原因.

关键词： DKDP晶体氘含量增益系数拉曼频移

外加直流电场对光折变晶体中双波混频增益系数的提升作用

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光电子．激光 2021年第6期32卷 573-580页

作者：赵琰陶传义江旭海肖建军王豪重庆理工大学物理与能源系重庆400054

大多数氧化物光折变晶体研究都没有考虑外加直流电场的影响。通过Kukhtarev材料方程得出施加直流电场时光折变晶体双波混频空间电荷场的材料方程,对比研究无外加电场和施加电场的情况下,归一化空间电荷场随归一化输入光强、归一化扩散... 详细信息

大多数氧化物光折变晶体研究都没有考虑外加直流电场的影响。通过Kukhtarev材料方程得出施加直流电场时光折变晶体双波混频空间电荷场的材料方程,对比研究无外加电场和施加电场的情况下,归一化空间电荷场随归一化输入光强、归一化扩散场、中性施主与受主陷阱浓度比以及归一化外加直流电场的变化趋势;分析外加直流电场对增益系数的提升作用及其影响因素。结果表明:归一化扩散场较低时,施加直流电场可显著提升空间电荷场,有外加直流电场的空间电荷场明显高于无外加直流电场的空间电荷场。但是在归一化扩散场较高时,这种现象则不明显,此时空间电荷场受施加直流电场的影响较小;另外,当施加直流电场时,增益系数增加更多,并且在20-27 dBm/cm^(2)的最佳光强范围内达到饱和值。同时,最佳入射光强对应的峰值增益随着外加直流电场的增加而增大。所得结果可为光折变晶体双波混频的实际应用提供理论指导。

关键词：光折变晶体空间电荷场增益系数直流电场双波混频

变温条件下受激布里渊散射增益系数的实验测量

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物理学报 2013年第10期62卷 215-218页

作者：陈蔚陈学岗史久林何兴道莫小凤刘娟南昌航空大学无损检测技术教育部重点实验室南昌330063

从理论及实验上分析了介质温度对受激布里渊散射(stimulated Brillouin scattering,SBS)阈值及增益系数的影响.在理论分析的基础上,提出了一种通过测量SBS阈值来决定介质SBS增益系数的新方法.实验及测量结果表明,SBS增益系数会随着介质... 详细信息

从理论及实验上分析了介质温度对受激布里渊散射(stimulated Brillouin scattering,SBS)阈值及增益系数的影响.在理论分析的基础上,提出了一种通过测量SBS阈值来决定介质SBS增益系数的新方法.实验及测量结果表明,SBS增益系数会随着介质温度的增加而呈现指数上升的趋势.

关键词：受激布里渊散射阈值增益系数

COIL基于小信号增益系数的最佳流量配比选择

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强激光与粒子束 2008年第10期20卷 1593-1596页

作者：吕俊明王春姜宗林中国科学院力学研究所高温气体动力学重点实验室北京100190

氧碘化学激光器(COIL)的混合喷管内发生的是气体动力学、化学反应动力学以及光学等相互耦合的复杂过程,每个过程都对COIL性能有着至关重要的影响。利用3维CFD技术,通过求解层流Navier-Stokes方程与组分输运方程,结合10种组分和21个基元... 详细信息

氧碘化学激光器(COIL)的混合喷管内发生的是气体动力学、化学反应动力学以及光学等相互耦合的复杂过程,每个过程都对COIL性能有着至关重要的影响。利用3维CFD技术,通过求解层流Navier-Stokes方程与组分输运方程,结合10种组分和21个基元反应的化学反应模型,对简化后的化学氧碘激光RADICL模型在亚声速段横向射流情况下,不同的主副流流量配比对小信号增益系数的影响情况进行了比较与分析。结果证明:过高或过低的碘分子浓度均不利于产生合理的小信号增益系数;存在最佳流量配比使小信号增益系数得到显著提高且分布均匀。

关键词：氧碘化学激光器横向射流流量配比增益系数方差

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增益系数对环形腔激光器输出特性的影响

光电技术应用 2018年第3期33卷 17-20页

作者：苏敏金雨晴任晗吕翎邹家蕊辽宁师范大学物理与电子技术学院大连116029 昌图县第四高级中学铁岭112000

采用数值仿真的方法研究了增益系数对环形腔激光器输出特性的影响。首先给出了考虑横向效应后环形腔激光器模型的光强方程。进一步通过模拟仿真Lyapunov指数随增益系数的演化确定了激光系统的动力学行为,并展示了考虑到光场的横向效应... 详细信息

采用数值仿真的方法研究了增益系数对环形腔激光器输出特性的影响。首先给出了考虑横向效应后环形腔激光器模型的光强方程。进一步通过模拟仿真Lyapunov指数随增益系数的演化确定了激光系统的动力学行为,并展示了考虑到光场的横向效应后环形腔激光器激光斑图的形成。最后,通过模拟不同增益系数下的激光斑图来说明增益系数对环形腔激光器输出特性的影响。

关键词：增益系数激光斑图数值仿真环形腔激光器

中国证券报高级专家高道德：提升陪伴增益系数 A03

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中国证券报高级专家高道德：提升陪伴增益系数

色散缓变光纤中增益系数的取值对皮秒脉冲孤子效应压缩的影响

中国证券报

作者：赵若帆

3月17日，中国证券报主办的“2023基金业投教创新论坛”在京举行。中国证券报高级专家高道德发表了主题为“如何提高投资者获得感”的演讲。他认为，提升投资者获得感，要关注提升陪伴增益系数。具体来看，一是要考虑基金发行的时间点;... 详细信息

3月17日，中国证券报主办的“2023基金业投教创新论坛”在京举行。中国证券报高级专家高道德发表了主题为“如何提高投资者获得感”的演讲。他认为，提升投资者获得感，要关注提升陪伴增益系数。具体来看，一是要考虑基金发行的时间点;二是要考虑基金经理自身的能力圈;三是要

关键词：增益系数投资者能力圈基金经理中国证券报高级专家

来源： cnki报纸评论

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光学技术 2006年第3期32卷 465-467页

作者：赵春梅杨性愉内蒙古大学理工学院内蒙古呼和浩特010021

从描述皮秒光脉冲在色散缓变光纤(FSDD)中所满足的非线性Schro¨dinger方程(NLS)出发,数值模拟了高阶皮秒脉冲在增益系数取值不同的色散缓变光纤中的孤子效应压缩,研究分析了增益系数所产生的影响。计算结果表明,对于孤子阶数确定的光脉... 详细信息

从描述皮秒光脉冲在色散缓变光纤(FSDD)中所满足的非线性Schro¨dinger方程(NLS)出发,数值模拟了高阶皮秒脉冲在增益系数取值不同的色散缓变光纤中的孤子效应压缩,研究分析了增益系数所产生的影响。计算结果表明,对于孤子阶数确定的光脉冲,增益系数有一最佳取值范围,对应于孤子效应压缩的参量———脉冲压缩比有最佳值。讨论了初始啁啾的影响。

关键词：色散缓变光纤孤子效应压缩增益系数初始啁啾

光纤非线性系数和受激喇曼散射增益系数测试研究

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光纤非线性系数和受激喇曼散射增益系数测试研究

作者：徐祖应华中科技大学

学位级别：硕士

光信号在光纤传输过程中，当功率达到一定程度时可能发生非线性效应，主要包括自相位调制（SPM）、交叉相位调制（XPM）、四波混频（FWM）、受激喇曼散射（SRS）和受激布里渊散射（SBS）。无论是实验研究还是对光纤生产商，都有必要对... 详细信息

光信号在光纤传输过程中，当功率达到一定程度时可能发生非线性效应，主要包括自相位调制（SPM）、交叉相位调制（XPM）、四波混频（FWM）、受激喇曼散射（SRS）和受激布里渊散射（SBS）。无论是实验研究还是对光纤生产商，都有必要对光纤的非线性系数γ进行准确的测量，分析其影响条件和规律，从而对不同类型的光纤进行改进和设计，服务于光纤通信或者非线性效应应用中。在光纤中的非线性效应中，本文选择对远距离光纤通信有功率放大作用的SRS效应来分析，因为SRS效应可对信号光产生一定的功率增益，增益带宽较大，可以分布放大波分复用系统（WDM）的几个信道，可用于长距离光纤传输的功率补偿。因此对光纤中SRS增益系数的测试研究十分重要。因此本文对光纤（主要是单模光纤）中非线性系数和受激喇曼散射增益系数进行了测试研究。主要内容包括： (1)阐述了光纤中非线性系数γ的理论机制，对进行了量子描述，介绍了几种非线性系数测试的方法;接着对SRS现象的发生进行了物理描述，详细分析了SRS现象在光纤中传输的过程，进行了公式推导。 (2)分别提出了光纤非线性系数γ和SRS增益系数的两个测试方案，对测试原理进行了详细阐述，介绍了两个光学系统的设备硬件功能和软件算法。提出了使用LabVIEW程序来进行控制仪器，嵌入MatLAB模块来处理部分算法，进行自动化数据测量和运算处理，达到γ和SRS增益系数自动化仪器测量的效果。 (3)对不同类型的光纤进行了非线性系数和SRS增益系数测试，分析了平台的稳定性和准确性，给出了长飞公司相关光纤的两个系数值，为光纤的设计和应用提供了非线性效应方面的参考。

关键词：非线性系数受激喇曼散射增益系数自动化单模光纤