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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 光学干涉测量
  • 1 篇 基底弯曲法
  • 1 篇 纳米级薄膜
  • 1 篇 微机械系统
  • 1 篇 内应力

机构

  • 1 篇 北京大学
  • 1 篇 天津大学

作者

  • 1 篇 黄玉波
  • 1 篇 王莎莎
  • 1 篇 栗大超
  • 1 篇 陈兢
  • 1 篇 李志宏

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=基底弯曲法"
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基于局部基底弯曲法的高灵敏度薄膜应力测试技术
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引用
Journal of Semiconductors 2006年 第6期27卷 1129-1135页
作者： 王莎莎 陈兢 栗大超 黄玉波 李志宏 北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室 北京100871 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072
针对MEMS(micro electro mechanicalsystem)和NEMS(nano electro mechanicalsystem)对薄膜应力测试的要求,开发了一种新型高灵敏度薄膜应力测试技术,使用自行搭建的准纳米光学干涉测试系统,利用局部基底弯曲来检测薄膜的内应力.该方法... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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