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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 偏差控制
  • 1 篇 激光光刻
  • 1 篇 激光直写系统
  • 1 篇 针孔调焦法
  • 1 篇 基准离焦量

机构

  • 1 篇 浙江大学

作者

  • 1 篇 梁宜勇

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=基准离焦量"
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基准离焦偏差控制技术
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引用
光电工程 2004年 第1期31卷 43-45页
作者： 梁宜勇 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027
一种新的采用基准离焦信号的针孔调焦方案,用于激光直写的自动对焦子系统。通过在离焦曲线上提取参考离焦信号,建立基准离焦判据,它能容易地区分前离焦或后离焦,有效地克服了原有针孔调焦方案难于根据离焦信号来分辨离焦方向的弱点。借... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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