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机构

  • 1 篇 香港城市大学

作者

  • 1 篇 paul k chu
  • 1 篇 田修波
  • 1 篇 童洪辉
  • 1 篇 d t k kwok

语言

  • 1 篇 中文
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等离子体浸没离子注入圆筒内表面的时空尺度
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核技术 2002年 第9期25卷 709-713页
作者： 田修波 D T K Kwok 童洪辉 Paul K Chu 香港城市大学
等离子体浸没离子注入与工件外表面的注入不同 ,存在空间和时间上的尺度。研究结果表明 ,由于内腔 ,如内筒的有限尺寸 ,使注入电压的利用率降低 ,同时使内部等离子体快速耗尽 ,对于特定的内筒 ,利用提高注入电压从而提高注入能量只能在... 详细信息
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