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主题

  • 2 篇 圆盘多环谐振陀螺
  • 2 篇 阳极键合
  • 1 篇 mems
  • 1 篇 mems工艺
  • 1 篇 微加工工艺

机构

  • 2 篇 上海交通大学
  • 1 篇 上海航天控制技术...

作者

  • 2 篇 朱甲强
  • 1 篇 邢亚亮
  • 1 篇 赵万良
  • 1 篇 孙殿竣
  • 1 篇 刘武
  • 1 篇 成宇翔
  • 1 篇 张卫平
  • 1 篇 崔峰
  • 1 篇 唐健
  • 1 篇 吴校生

语言

  • 2 篇 中文
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基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的设计与制作
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半导体光电 2017年 第2期38卷 199-203页
作者： 朱甲强 张卫平 唐健 邢亚亮 孙殿竣 吴校生 崔峰 刘武 成宇翔 赵万良 上海交通大学电子信息与电气工程学院微米/纳米加工技术国家级重点实验室 薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海200240 上海航天控制技术研究所惯性工程技术研究中心 上海201109
提出了一种新型的基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的结构设计及其制作方法。该种陀螺采用MEMS工艺制作而成,基底材料为肖特BF33玻璃,电极和谐振器均由单晶硅片加工而成,肖特BF33玻璃与单晶硅片通过阳极键合工艺键合在一起。介绍了... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的设计与制备探究
基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的设计与制备探究
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引用
作者： 朱甲强 上海交通大学
学位级别：硕士
本文提出了一种新型的基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的结构设计和制作方法。该种陀螺采用MEMS微加工工艺制作而成。首先,采用湿法腐蚀工艺腐蚀肖特BF33玻璃制作基底;其次,通过阳极键合工艺将所制作的玻璃基底与单晶硅片键合在一起... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
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