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  • 1 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 化学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程(可...

主题

  • 1 篇 椭偏光谱
  • 1 篇 吸收光谱
  • 1 篇 功能碳薄膜
  • 1 篇 化学键
  • 1 篇 四配位非晶碳
  • 1 篇 拉曼光谱

机构

  • 1 篇 中国科学院上海微...
  • 1 篇 中山大学

作者

  • 1 篇 莫党
  • 1 篇 李芳
  • 1 篇 郭扬铭
  • 1 篇 陈第虎
  • 1 篇 魏爱香

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=四配位非晶碳"
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排序:
功能薄膜化学键成分的椭偏光谱研究
收藏 引用
功能材料 2003年 第5期34卷 582-584页
作者: 莫党 李芳 陈第虎 郭扬铭 魏爱香 中山大学理工学院光电材料与技术国家重点实验室 广东广州510275 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室
 用磁过滤真空离子溅射系统,改变加在单晶Si(100)衬底上的衬底偏压,制备不同sp3C键与sp2C键比例的薄膜样品。测量了2.0~5.0eV光子能量范围内各个薄膜样品的椭偏光谱。发现该谱与薄膜中的sp键比例有明显的关系。我们提出一种较... 详细信息
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论