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反应溅射选择性吸收膜的研究

真空科学与技术 1992年第4期12卷 329-331页

作者：郭信章尹万里于凤勤北京市太阳能研究所 100083

叙述真空管集热器用的太阳能高温选择性吸收膜氮氧化铝(AlN_xO_y)的制备及性能。采用金属铝单靶反应溅射,在铝基体上沉积吸收膜,其吸收率α_(HT)=0.94,热发射率ε_(310℃)=0.136。

关键词：薄膜真空镀膜溅射吸收膜

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二阶关联成像系统宽光谱吸收膜研制

光子学报 2016年第10期45卷 167-172页

作者：付秀华熊仕富刘冬梅张静程慧婷长春理工大学光电工程学院长春130022

为满足关联成像系统抑制背景的需求,选用Al、Cr和SiO2作为镀膜材料,依据薄膜吸收理论,结合膜系设计软件设计了宽光谱吸收膜,并采用真空沉积技术获得了该薄膜样品.通过真空阶梯式退火,减小了膜层内应力,解决了薄膜牢固度问题;采用交互式... 详细信息

为满足关联成像系统抑制背景的需求,选用Al、Cr和SiO2作为镀膜材料,依据薄膜吸收理论,结合膜系设计软件设计了宽光谱吸收膜,并采用真空沉积技术获得了该薄膜样品.通过真空阶梯式退火,减小了膜层内应力,解决了薄膜牢固度问题;采用交互式分析对测试结果逆向反演,通过优化工艺参量,使膜系中敏感薄层厚度得以精准控制,并减小了膜厚控制误差.制备的吸收膜在4001 100nm波段平均吸收率达到99.1%,满足系统使用要求.

关键词：薄膜关联成像阶梯式退火逆向反演内应力吸收膜

膜法吸收燃煤烟气中CO2之膜润湿机理及其改性研究

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化工新型材料 2014年第6期42卷 190-192,209页

作者：王霞瞿如敏陈浩杨林军冒咏秋东南大学能源热转换及其过程测控教育部重点实验室能源与环境学院南京210096 南京凯盛开能环保能源有限公司南京210096

膜吸收法因吸收过程中膜润湿所造成的膜相阻力增加与膜表面形态改变是阻碍膜吸收法吸收CO2的工业应用的重要因素。首先叙述了吸收膜的润湿机理,并基于国内外所采用的提高膜抗润湿性的表面改性研究作了归类总结。最后,从提高疏水性能、... 详细信息

膜吸收法因吸收过程中膜润湿所造成的膜相阻力增加与膜表面形态改变是阻碍膜吸收法吸收CO2的工业应用的重要因素。首先叙述了吸收膜的润湿机理,并基于国内外所采用的提高膜抗润湿性的表面改性研究作了归类总结。最后,从提高疏水性能、稳定性、环保性及可操作性等方面分析比较了各种表面改性方式的优劣,并得出表面物理涂敷法能有效提高吸收膜的抗润湿性并具有良好工业应用前景。

关键词：吸收膜 CO2 润湿机制疏水性改性

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太阳光谱金属-介质干涉型强吸收膜的研究

中国激光 2017年第8期44卷 153-159页

作者：付秀华郭凯张静熊仕富姜洪妍孙兵长春理工大学光电工程学院吉林长春130022

随着军事隐形、太阳能转换以及激光热处理等技术研究的日益深入,对表面吸收膜的技术要求不断提高。为满足太阳光谱吸收的要求,研制了一种在400~2500nm波段具有强吸收作用、适应多种基底的光学薄膜。通过分析吸收理论,建立吸收结构模型,... 详细信息

随着军事隐形、太阳能转换以及激光热处理等技术研究的日益深入,对表面吸收膜的技术要求不断提高。为满足太阳光谱吸收的要求,研制了一种在400~2500nm波段具有强吸收作用、适应多种基底的光学薄膜。通过分析吸收理论,建立吸收结构模型,并结合材料的特性研究,实现了吸收膜的设计。采用真空离子辅助沉积技术,根据逆向反演法,对"分步沉积"工艺二次优化,制备了太阳光谱强吸收膜。测试结果表明,研制的吸收膜在400~2500nm波段的平均吸收率为98.15%。制备的吸收膜通过了机械牢固度测试,与基底能够很好地结合。

关键词：光谱学吸收膜太阳光谱材料特性离子辅助沉积分步沉积

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吸收膜椭偏测量中的入射角选择

山东大学学报(自然科学版) 1986年第1期 72-81页

作者：丁兰英王志刚山东大学光学系

本文以差商代替偏导数,利用计算机近似地模拟计算了两种环境一吸收膜一基板系统椭偏角φ、△与反射率R对于膜系参量n0、k0、n1、k1、d1、n2、k2的偏导数,以及这些偏导数对于入射角φ0的依赖关系,并以此为基础,讨论吸收膜椭偏测量中的最... 详细信息

本文以差商代替偏导数,利用计算机近似地模拟计算了两种环境一吸收膜一基板系统椭偏角φ、△与反射率R对于膜系参量n0、k0、n1、k1、d1、n2、k2的偏导数,以及这些偏导数对于入射角φ0的依赖关系,并以此为基础,讨论吸收膜椭偏测量中的最佳入射角选择问题。

关键词：椭偏测量吸收膜入射角选择

椭偏光法研究离子注入层(一) 非均匀吸收膜椭偏光参数的计算及其在求离子注入层复折射率分布中的应用

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西安交通大学学报 1981年第2期 110-117页

作者：陈敏麒罗晋生西安交通大学电子工程系

本工作解决了固体表面上非均匀吸收膜椭偏光参数的计算方法和程序,并应用此方法研究了硅中注入不同剂量的P31+、As75+及Al27+时,注入层的复折射率分布和损伤情况.实验得到在高注入剂量时,如注入5×1015/厘米2及1016/厘米2剂量的P31+或注... 详细信息

本工作解决了固体表面上非均匀吸收膜椭偏光参数的计算方法和程序,并应用此方法研究了硅中注入不同剂量的P31+、As75+及Al27+时,注入层的复折射率分布和损伤情况.实验得到在高注入剂量时,如注入5×1015/厘米2及1016/厘米2剂量的P31+或注入1015/厘米2的As75+的注入层,由剥层测得的表观折射率n和表观消光系数k随深度呈振荡状变化;在较低注入剂量时,如注入5×1014/厘米2的P31+及1014/厘米2的Al27+情况,n和k随深度的分布呈尖峰状,且k的峰值较n的峰值更靠近表面.应用本文的计算方法,能够很好地说明这些实验结果,且可从椭偏光法逐层测得的△和ψ值求得注入层中的真实复折射率分布,并分析损伤分布情况.这种计算方法也有可能用于分析其它非均匀层的椭偏光测量结果.

关键词：偏光法复折射率离子注入离子掺杂吸收膜光学薄膜注入剂量

椭圆术对1Cr18Ni9Ti钢的极薄钝化膜(吸收膜)性质的研究

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中国腐蚀与防护学报 1984年第1期 53-60页

作者：隋森芳陈鹤鸣清华大学工程物理系

本文用椭圆术对1Cr18Ni9Ti 钢的钝化膜的生长性质进行了研究,并对这种极薄钝化膜(吸收膜)的椭圆仪参数(Δ,Ψ)的一些特性进行了计算分析。分析结果表明,该钝化膜厚度约50,生长过程满足对数规律。结果还表明,钝化膜生长过程中伴随着结构... 详细信息

本文用椭圆术对1Cr18Ni9Ti 钢的钝化膜的生长性质进行了研究,并对这种极薄钝化膜(吸收膜)的椭圆仪参数(Δ,Ψ)的一些特性进行了计算分析。分析结果表明,该钝化膜厚度约50,生长过程满足对数规律。结果还表明,钝化膜生长过程中伴随着结构的变化,该钝化膜可以看成是光学性质逐渐变化的复层膜。本文的研究说明,在不锈钢极薄钝化膜的厚度、生长规律及生长过程中结构变化的研究方面,椭圆仪是一种非常有用的分析手段。

关键词：钝化膜厚度光学薄膜吸收膜 Ti Cr Ni

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厚度变化的吸收膜的椭圆偏振数据处理

光学工程 1986年第6期 31-35页

作者：周庆初徐乃欣石声泰中国科学院上海冶金研究所

在椭偏测量中,吸收膜的三个参数n1,k1和d不能由一组测量数据△、ψ求出确定的解。本文讨论由膜的生长或溶解过程中不同厚度时测得的各组椭偏数据求解吸收膜参数的方法。首先采用蒙特卡罗随机取点法搜索求解n1和k1,找出作为目标函数的椭... 详细信息

在椭偏测量中,吸收膜的三个参数n1,k1和d不能由一组测量数据△、ψ求出确定的解。本文讨论由膜的生长或溶解过程中不同厚度时测得的各组椭偏数据求解吸收膜参数的方法。首先采用蒙特卡罗随机取点法搜索求解n1和k1,找出作为目标函数的椭偏参数的均方差的极小值点。接着分别确定相应的膜厚d1,d2…。根据上述算法编写了一个计算吸收膜的BASIC程序。

关键词：数据处理程序框图 BASIC 吸收膜光学薄膜方程的解取值范围表面膜蒙特卡罗搜索求解膜参数厚度变化偏参数

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椭偏仪测量吸收膜光学参数入射角的选择

激光与红外 1987年第2期 51-53页

作者：方鸣岗电子部11所

本文介绍了利用双入射角法测量吸收薄膜的光学参数,适当地组合和选择入射角可提高测量的灵敏度。

关键词：光学参数吸收膜光学薄膜