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  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 核科学与技术

主题

  • 1 篇 退火温度
  • 1 篇 同轴型hpge探测器
  • 1 篇 硼离子注入
  • 1 篇 退火时间

机构

  • 1 篇 中核集团核探测技...
  • 1 篇 中国原子能科学研...

作者

  • 1 篇 何高魁
  • 1 篇 郝晓勇
  • 1 篇 阙子昂

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=同轴型HpGe探测器"
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同轴型hpge探测器离子注入工艺仿真
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核电子学与探测技术 2020年 第2期40卷 239-243页
作者： 阙子昂 郝晓勇 何高魁 中国原子能科学研究院 北京102413 中核集团核探测技术重点实验室 北京102413
为了进--步优化同轴型高纯锗探测器离子注入工艺参数,利用Silvaco半导体仿真软件和SRIM离子注入仿真软件对离子注入过程进行模拟,研究不同注入角度、能量、剂量对注入的均匀性、深度、杂质浓度分布及损伤的影响,并根据模拟结果选择合适... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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