检索结果-南通市图书馆

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

一种基于PDMS的新型可调光栅

塑性工程学报 2015年第4期22卷 183-187页

作者：杨江涛陈萌康宁郭浩刘俊唐军中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

传统方法制作可调光栅,工艺条件苛刻,制作过程复杂且难以控制,制作成本高,周期较长,因此提出一种制作光栅的新方法。通过氧等离子体(PLASMA)方法,制作出微米尺度的光栅结构。利用PLASMA时间的可控性和聚二甲基硅氧烷(PDMS)优异的弹性,... 详细信息

传统方法制作可调光栅,工艺条件苛刻,制作过程复杂且难以控制,制作成本高,周期较长,因此提出一种制作光栅的新方法。通过氧等离子体(PLASMA)方法,制作出微米尺度的光栅结构。利用PLASMA时间的可控性和聚二甲基硅氧烷(PDMS)优异的弹性,通过调控PLASMA的时间和PDMS的拉伸程度,制得所需尺寸的光栅。将制得的光栅薄膜沿着光栅栅线的方向拉伸,随着栅线的伸长,光栅常数随之减小,即可对光栅周期进行连续、任意调谐,并获得预定的目标周期。实验结果表明,制作的光栅调谐范围可达40%,并且调谐过程中光栅金属保持完整,衍射角变化显著,理论值与实验值基本一致,达到预期实验目的。该制作可调光栅的方法成本低,周期短,工艺过程简单易控制,可广泛应用于微型光谱仪、扫描仪及光通信等领域。

关键词：氧等离子体可调光栅周期光栅常数

基于石墨烯复合材料的近红外光驱动的柔性可调光栅

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

应用光学 2018年第6期39卷 885-889页

作者：王飞贾书海西安交通大学机械工程学院陕西西安710049

针对现有柔性可调光栅响应速度慢、功耗高而无法广泛应用的现状,提出一种基于石墨烯纳米片(graphene nanoplatelet,GNP)/聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)复合材料的近红外(near-infrared,NIR)光驱动可调谐柔性透射光栅结构... 详细信息

针对现有柔性可调光栅响应速度慢、功耗高而无法广泛应用的现状,提出一种基于石墨烯纳米片(graphene nanoplatelet,GNP)/聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)复合材料的近红外(near-infrared,NIR)光驱动可调谐柔性透射光栅结构。利用紫外线光刻技术制备出的光栅结构,实现了柔性透射光栅与石墨烯复合材料薄膜的一体化。在光功率密度为220mW·cm-2的近红外光驱动下,GNP/PDMS薄膜的温度变化约为120℃,而且光栅在3s内可实现2.7%的连续周期调谐。不同驱动频率下,光栅栅距变化规律基本相同,即光栅的光机械效应无显著的时间依赖性。

关键词：可调光栅石墨烯 GNP/PDMS 光驱动

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

一种新型可调光栅的制作方法

传感器与微系统 2013年第3期32卷 46-48页

作者：崔敏张斌珍张勇中北大学电子测试技术重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

介绍了一种可调光栅的制作方法。首先通过紫外线光刻的方法,制作出微米尺度的光栅结构(周期8μm),然后将光栅复制在聚甲基硅氧烷(PDMS)薄膜上,形成内嵌式PDMS光栅。利用PDMS优异的弹性,将此薄膜沿着光栅栅线的方向拉伸,随着栅线的伸长,... 详细信息

介绍了一种可调光栅的制作方法。首先通过紫外线光刻的方法,制作出微米尺度的光栅结构(周期8μm),然后将光栅复制在聚甲基硅氧烷(PDMS)薄膜上,形成内嵌式PDMS光栅。利用PDMS优异的弹性,将此薄膜沿着光栅栅线的方向拉伸,随着栅线的伸长,光栅常数也随之变小,周期调节极限为5μm。传统方法制作可调光栅,工艺条件苛刻,制作过程复杂,难以控制,制作成本高,周期较长。提出的制作可调光栅的方法成本低,周期短,工艺过程简单易控制,可广泛应用于微型光谱仪、扫描仪、光通信等领域。

关键词：聚甲基硅氧烷可调光栅光栅常数

基于石墨烯/PDMS的可调光栅的结构分析与数值模拟

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

科技视界 2020年第8期 105-106页

作者：王飞雷张周强西安工程大学<机电工程学院> 西安710048

基于石墨烯(GNP)和聚二甲基硅氧烷(PDMS)制成的可调光栅在近红外光驱动条件下具有大的调谐范围,但是当光栅结构参数改变时,其调谐范围会产生相应的变化。本文采用数值模拟的方法研究了在近红外光驱动条件下光栅的结构参数对其调谐范围... 详细信息

基于石墨烯(GNP)和聚二甲基硅氧烷(PDMS)制成的可调光栅在近红外光驱动条件下具有大的调谐范围,但是当光栅结构参数改变时,其调谐范围会产生相应的变化。本文采用数值模拟的方法研究了在近红外光驱动条件下光栅的结构参数对其调谐范围的影响。研究结果表明:GNP/PDMS薄膜的长度参数的变化会改变光栅的调谐范围,当GNP/PDMS薄膜的长度增加时,光栅的调谐范围变小。

关键词：可调光栅结构分析可调范围 GNP/PDMS

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

微机电可调硅基三族氮化物光栅

光学精密工程 2014年第11期22卷 2945-2949页

作者：李欣施政贺树敏高绪敏张苗王永进南京邮电大学格林贝格尔研究中心江苏南京210003 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料实验室上海200050

将静电梳齿微驱动器与三族氮化物光栅集成,获得了利用静电梳齿微驱动器调节光栅周期的硅基三族氮化物光栅。首先,以硅基三族氮化物基片为基础,设计了微机电可调光栅,光栅的设计周期为1.1μm,设计线宽为0.8μm。然后,利用严格耦合波分析... 详细信息

将静电梳齿微驱动器与三族氮化物光栅集成,获得了利用静电梳齿微驱动器调节光栅周期的硅基三族氮化物光栅。首先,以硅基三族氮化物基片为基础,设计了微机电可调光栅,光栅的设计周期为1.1μm,设计线宽为0.8μm。然后,利用严格耦合波分析法研究了横向磁场模式下可调光栅的光学响应特性;研究显示改变光栅周期和占空比,光栅的谐振波峰出现了明显偏移。最后,介绍了结合电子束光刻、三族氮化物干法刻蚀和深硅刻蚀技术制备微机电可调三族氮化物光栅的方法。严格耦合波分析和实验表明:制备的微机电可调三族氮化物光栅具有良好的质量;在静电驱动器上施加电压,可将光栅的谐振波峰由1.345μm调节至1.40μm,满足了利用微机电技术调节三族氮化物光栅光学响应特性的要求。

关键词：可调光栅氮化物光栅静电驱动器微机电系统

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

基于PDMS的自组装制备可调谐光栅的研究

压电与声光 2015年第5期37卷 847-850,854页

作者：马宏宇杨秋翔中北大学计算机与控制工程学院山西太原030051

传统方法制作可调谐光栅的制作工艺复杂,成本高,时间长,因此,该文提出了一种新型的基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)可调谐光栅法,通过氧等离子体法制作出微米尺度的光栅结构。利用等离子体时间的可控性和PDMS的优异弹性,通过调控等离子体的时... 详细信息

传统方法制作可调谐光栅的制作工艺复杂,成本高,时间长,因此,该文提出了一种新型的基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)可调谐光栅法,通过氧等离子体法制作出微米尺度的光栅结构。利用等离子体时间的可控性和PDMS的优异弹性,通过调控等离子体的时间和PDMS的拉伸程度的(最大可拉伸120%),制得所需尺寸光栅。将制得的光栅薄膜沿光栅栅线方向拉伸,随着栅线的伸长,光栅常数随之变小,从而对光栅周期进行连续、任意调谐,并获得预定的目标周期。实验表明,制作的光栅可调谐范围可达40%,且调谐过程中金属光栅保持完整,衍射角变化明显,理论值与实验值基本吻合,取得了预期的实验效果。实验结果表明,提出的新型可调谐光栅制作成本和周期降低,工艺制作过程较简单,且易控制。

关键词：氧等离子体聚二甲基硅氧烷(PDMS) 可调光栅周期光栅常数

用于PDMS表面金属图形化的牺牲层转印方法研究

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

用于PDMS表面金属图形化的牺牲层转印方法研究

作者：王泽龙大连理工大学

学位级别：硕士

聚二甲基硅氧烷(PDMS)是一种有机硅聚合物,具有易拉伸,透光性好,易于成型以及生物兼容性好等优点,已经被广泛用于制作多种多样的微纳米器件。为了扩展PDMS的应用领域,金属材料被越来越多地集成于PDMS上,用于实现各种各样的功能。然而,在... 详细信息

聚二甲基硅氧烷(PDMS)是一种有机硅聚合物,具有易拉伸,透光性好,易于成型以及生物兼容性好等优点,已经被广泛用于制作多种多样的微纳米器件。为了扩展PDMS的应用领域,金属材料被越来越多地集成于PDMS上,用于实现各种各样的功能。然而,在对PDMS表面进行金属图形化时,由于PDMS弹性模量小,热膨胀系数高,沉积的金属薄膜会受到PDMS的压缩应力而产生无规律的褶皱现象,金属薄膜的无规律褶皱现象会严重影响微纳米器件的稳定性和可靠性,甚至会使微纳米器件直接失效。为此,本文提出一种用于PDMS表面金属图形化的水溶性牺牲层转印方法。首先在比较各类水溶性材料性质特点之后,将聚丙烯酸(PAA)确定为本文所使用的水溶性牺牲层材料,建立了PAA薄膜厚度、厚度均匀性、粗糙度以及弹性模量与旋涂转速之间的关系。其次介绍了水溶性牺牲层转印方法的具体工艺流程,并利用水溶性牺牲层转印方法在PDMS上制作了不同尺寸不同形状的金属薄膜图形。接着利用扫描电子显微镜对金属图形的微观形貌进行了表征,发现金属薄膜表面平整光滑,没有明显的褶皱和裂纹。随后通过原子力显微镜测试对水溶性牺牲层转印方法制作的金属薄膜进行表面质量的评价并将其与直接溅射制作的金属薄膜对比。通过对比发现,利用水溶性牺牲层转印方法制作的金属薄膜上褶皱振幅减少了一个数量级,波长提高了近4倍,褶皱问题明显改善;并对利用水溶性牺牲层转印方法制作的金属薄膜上轻微褶皱的产生机理进行了研究,发现是由于转印过程中将PDMS压紧使PDMS发生了形变从而导致的轻微褶皱现象;同时由于水溶性牺牲层转印方法不需要直接在PDMS上溅射金属薄膜,避免了溅射过程中等离子体粒子和金属原子对PDMS表面的物理冲击,因此金属薄膜粗糙度减少了5倍。最后,本文利用提出的水溶性牺牲层转印方法在PDMS上制作了一种最小周期为4μm的金属可调光栅,并对其衍射效率、拉伸一致性及耐用性进行了测试和研究。结果表明利用水溶性牺牲层转印方法制作的金属光栅各级衍射效率均高于直接溅射制作的金属光栅,同时在0-50%拉伸变形量范围内其光栅常数的理论值和实际值基本保持一致,并且在1000次拉伸之后,依然能够保持良好的衍射效率及拉伸一致性,具有良好的可靠性、稳定性和耐用性。

关键词：聚二甲基硅氧烷的金属图形化聚丙烯酸转印牺牲层褶皱可调光栅