咨询与建议
  • 全部检索
  • 电子图书
  • 电子期刊
  • 纸本馆藏
  • 南通市公共图书馆
高级检索

限定检索结果

文献类型

  • 1 篇 学位论文

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程

主题

  • 1 篇 变波长移相干涉
  • 1 篇 aotf
  • 1 篇 显微干涉
  • 1 篇 linnik
  • 1 篇 波长扫描干涉

机构

  • 1 篇 天津大学

作者

  • 1 篇 罗备

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=变波长移相干涉"
共 1 条 记 录，以下是1-10 订阅
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到"检索档案"
详细 简洁
排序：
基于AOTF的Linnik型显微干涉测量系统与方法研究
基于AOTF的Linnik型显微干涉测量系统与方法研究
收藏
分享
引用
作者： 罗备 天津大学
学位级别：硕士
随着时代的发展,微纳米结构器件的需求越来越多,要求的精度也不断提升,对与之相对应的超精密表面形貌测量技术的要求也越来越高。将表面形貌测量技术从实验室转向工业现场测量是一种发展趋势,其中基于波长调制的干涉测量技术不需要进行... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到“检索档案”
共1页 <<  < 1 >  >>
回到顶部
执行限定条件