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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 微结构
  • 1 篇 微电子机械系统
  • 1 篇 键合强度
  • 1 篇 在线检测
  • 1 篇 微力
  • 1 篇 叉指式器件

机构

  • 1 篇 中国工程物理研究...

作者

  • 1 篇 李仁锋

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=叉指式器件"
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微电子机械系统键合强度检测方法研究进展
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引用
微纳电子技术 2009年 第11期46卷 678-683页
作者： 李仁锋 中国工程物理研究院电子工程研究所 四川绵阳621900
把微电子机械系统键合强度检测分为传统分层检测方法、微结构检测方法和非破坏性检测方法,并逐一对这些方法进行细分和详细地描述。传统分层检测方法的难点是结构的夹持,而且不能实现在线监测;非破坏性检测方法检测范围有限,而且检测仪... 详细信息
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