检索结果-南通市图书馆

面向单晶SiC原子级表面制造的等离子体辅助抛光技术

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

物理学报 2021年第6期70卷 252-264页

作者：吉建伟山村和也邓辉南方科技大学前沿与交叉科学研究院深圳518055 南方科技大学机械与能源工程系深圳518055 日本大阪大学工学院精密科学与技术系大阪5650871

目前Si基半导体由于其自身材料特性的限制,已经越来越难以满足高速发展的现代电力电子技术对半导体器件的性能要求.SiC作为新一代半导体材料具有显著的性能优势,但由于其属于典型的难加工材料,实现SiC晶圆的高质量与高效率加工成为了推... 详细信息

目前Si基半导体由于其自身材料特性的限制,已经越来越难以满足高速发展的现代电力电子技术对半导体器件的性能要求.SiC作为新一代半导体材料具有显著的性能优势,但由于其属于典型的难加工材料,实现SiC晶圆的高质量与高效率加工成为了推动其产业化应用进程的关键.本综述在回顾近年来SiC超精密加工技术研究进展的基础上,重点介绍了一种基于等离子体氧化改性的SiC高效超精密抛光技术,分析了该技术的材料去除机理、典型装置、改性过程及抛光效果.分析结果表明,该技术具有较高的去除效率,能够获得原子级平坦表面,并且不会产生亚表面损伤.同时针对表面改性辅助抛光技术加工SiC表面过程中出现的台阶现象,探讨了该台阶结构的产生机理及调控策略.最后对等离子体辅助抛光技术的发展与挑战进行了展望.

关键词：单晶SiC 原子及近原子尺度制造等离子体表面改性

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

4H-SiC激光烧蚀的三维分子动力学研究

中国激光 2024年第20期51卷 261-268页

作者：安豪杰王金石房丰洲天津大学精密测试技术及仪器全国重点实验室天津300072 天津大学精密仪器与光电子工程学院微纳制造实验室(MNMT) 天津300072

飞秒激光直写在原子及近原子尺度制造领域中表现出独特的优势。为了研究飞秒激光与材料在原子及近原子尺度的相互作用过程,给出了一种基于双温方程的三维分子动力学模型,开展了4H-SiC表面飞秒激光烧蚀过程与机制的研究,对不同能量密度... 详细信息

飞秒激光直写在原子及近原子尺度制造领域中表现出独特的优势。为了研究飞秒激光与材料在原子及近原子尺度的相互作用过程,给出了一种基于双温方程的三维分子动力学模型,开展了4H-SiC表面飞秒激光烧蚀过程与机制的研究,对不同能量密度激光辐照产生的原子轨迹、温度场、结构形貌和烧蚀产物进行了分析,并探讨了能量密度对表面改性和材料去除的影响。研究结果表明:在低能量密度下,碳化硅材料经激光诱导主要发生晶相结构向非晶相结构的转变;而在高能量密度下,中心区材料的爆炸沸腾是材料喷射去除以及边缘材料堆积的主要原因。烧蚀产物为气与液的两相混合物,其组分占比依赖于激光能量密度。该三维模型为原子及近原子尺度飞秒激光加工提供了理论分析的新途径。

关键词：激光技术材料加工双温模型分子动力学原子及近原子尺度制造

面向原子级表面制造的等离子体诱导原子选择刻蚀技术

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

中国科学：技术科学 2022年第6期52卷 882-892页

作者：张翊吴兵张临风邓辉南方科技大学工学院机械与能源工程系深圳518055

制造正从以经验技能为基础的制造Ⅰ和以经典理论为基础的制造Ⅱ迈向以量子理论为基础的制造Ⅲ.尽管制造的这三个范式出现在不同历史阶段,但它们将并存,甚至在未来可遇见的时期内,制造Ⅱ还依然起主导作用.其中制造Ⅲ的核心领域将是原子... 详细信息

制造正从以经验技能为基础的制造Ⅰ和以经典理论为基础的制造Ⅱ迈向以量子理论为基础的制造Ⅲ.尽管制造的这三个范式出现在不同历史阶段,但它们将并存,甚至在未来可遇见的时期内,制造Ⅱ还依然起主导作用.其中制造Ⅲ的核心领域将是原子及近原子尺度制造(ACSM),涵盖制造的精度、结构尺寸及材料去除、迁移、增加的尺度.原子级的表面制造是ACSM发展的一个重要领域.本文将介绍一种基于等离子体诱导原子选择刻蚀原理(plasma-induced atom-selective etching,PASE)的原子级表面制造技术.晶体表面不同成键状态的原子在等离子体刻蚀反应中具有不同的反应优先等级,而这种反应优先级的调控可通过改变等离子体活性粒子成分、浓度、温度等来实现.因而,PASE技术可以选择性去除材料表面的多余原子,并最终实现原子级表面的创成.PASE技术已成功应用于Si,SiC,Al_(2)O_(3)等硬脆单晶材料的抛光,采用CF_(4)-O_(2)等离子体,可直接实现上述材料研磨表面(S_(a)>100 nm)的抛光,并高效率获得埃米级表面(S_(a)原子级表面的制造.

关键词：原子及近原子尺度制造原子选择刻蚀超精密加工等离子体

同方期刊数据库

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

制造发展的三个范式：制造发展规律的研究

中国科学基金 2024年第1期38卷 159-171页

作者：房丰洲赖敏王金石吕鹏于楠罗熙淳胡春光陈远流陈磊邓辉徐涛康城玮韩伟冯俊元天津大学精密仪器与光电子工程学院都柏林大学机械与材料工程学院爱丁堡大学机械工程学院思克莱德大学精密制造中心浙江大学机械工程学院西南交通大学机械工程学院南方科技大学机械与能源工程系东南大学集成电路学院西安交通大学机械工程学院复旦大学信息科学与工程学院杭州电子科技大学机械工程学院

基于对人类社会发展历史和科学技术发展内在规律的认识，本文详细分析了制造发展的三个范式，论证了原子及近原子尺度制造是制造范式III的核心使能技术。文章回顾了国内外各机构对原子级制造研发规划现状，指出我国目前处于原子级制造... 详细信息

基于对人类社会发展历史和科学技术发展内在规律的认识，本文详细分析了制造发展的三个范式，论证了原子及近原子尺度制造是制造范式III的核心使能技术。文章回顾了国内外各机构对原子级制造研发规划现状，指出我国目前处于原子级制造技术发展的重要战略机遇期，并从设计、材料、加工和检测等角度分析了原子级制造的技术体系内涵；梳理了原子级表面制造、原子级结构制造、原子级测量与表征等领域的研究进展，呈现了当前具有原子级制造能力的部分代表性技术，包括原子级切削、原子级抛光、电化学加工、等离子体原子级加工技术、原子精准操控以及原子分辨测量与表征技术，并对原子级制造战略规划提出发展建议。

关键词：制造技术发展趋势制造范式原子及近原子尺度制造原子精度制造原子级制造

同方期刊数据库