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衍射拼接主镜厚度误差分析及分辨率增强实验

光学学报 2018年第10期38卷 44-51页

作者：李韬杰汪岳峰杨正韩珺陈建军李晶尹韶云吴鹏中国人民解放军陆军工程大学电子与光学工程系河北石家庄050003 中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电研究中心重庆400714 跨尺度制造技术重庆市重点实验室重庆400714 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司湖北武汉430070

基于傅里叶光学的基本原理和稀疏孔径光瞳结构,建立了子镜与衍射拼接主镜厚度误差间的关系模型。在子镜无衍射结构一侧微变形情况下,给出了任意低阶面形误差引入的相位差的一般表达式。以球面变形为例,分析计算了面形误差的容许范围,并... 详细信息

基于傅里叶光学的基本原理和稀疏孔径光瞳结构,建立了子镜与衍射拼接主镜厚度误差间的关系模型。在子镜无衍射结构一侧微变形情况下,给出了任意低阶面形误差引入的相位差的一般表达式。以球面变形为例,分析计算了面形误差的容许范围,并采用ZEMAX光线追迹法对结果进行了交叉验证。对于子镜双侧无变形的特殊情况,运用蒙特卡罗方法讨论了子镜间厚度的一致性对拼接主镜成像质量的影响,给出了正态分布条件下衍射拼接主镜相干成像时子镜厚度误差的方差与极值范围。根据理论设计结果加工了两片离轴衍射子镜,开展了双子镜拼接成像性能实验。实验结果表明,衍射拼接主镜能提高等效分辨率。

关键词：衍射拼接主镜厚度误差相干性分辨率

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扩展电阻技术测试外延片外延厚度误差分析

半导体技术 2008年第10期33卷 905-908页

作者：张志勤李胜华张秀丽中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050002

扩展电阻法利用测量纵向深度电阻率的变化获得外延片厚度。实际外延片测试过程中,经常发生扩展电阻测试仪测量硅外延片厚度误差较大的问题,从三个方面分析了产生的原因,其中两方面存在于样品制备过程:样品研磨角度不等于垫块角度造成的... 详细信息

扩展电阻法利用测量纵向深度电阻率的变化获得外延片厚度。实际外延片测试过程中,经常发生扩展电阻测试仪测量硅外延片厚度误差较大的问题,从三个方面分析了产生的原因,其中两方面存在于样品制备过程:样品研磨角度不等于垫块角度造成的误差;研磨斜面两条边缘不平行造成的误差。另外一方面存在于测试过程,测试仪两探针起始位置偏离样品表面和研磨斜面的边界线造成的误差。由样品制备引起的误差占实际误差的大多数,所有误差均可通过计算公式进行修正。

关键词：扩展电阻硅外延厚度误差过渡区

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推力滚针轴承垫圈厚度误差对接触应力的影响

轴承 2015年第12期 11-13页

作者：杨晓刚王旭永扈文庄上海交通大学上海200030 洛阳轴研科技股份有限公司河南洛阳471003 河南省高性能轴承技术重点实验室河南洛阳471039 滚动轴承产业技术创新战略联盟河南洛阳471039

推力滚针轴承具有转速低、承受载荷大的特点,为使滚针受力沿其轴向均匀分布,对垫圈厚度误差和滚针的凸度修形要求较高,以某型号推力滚针轴承为研究对象,利用有限元法得出:滚针素线为对数修形时,其垫圈厚度误差应控制在一定范围内;否则,... 详细信息

推力滚针轴承具有转速低、承受载荷大的特点,为使滚针受力沿其轴向均匀分布,对垫圈厚度误差和滚针的凸度修形要求较高,以某型号推力滚针轴承为研究对象,利用有限元法得出:滚针素线为对数修形时,其垫圈厚度误差应控制在一定范围内;否则,接触应力沿滚针轴向分布极不均匀,严重影响轴承的使用性能和寿命。

关键词：推力滚针轴承垫圈厚度误差对数修形接触应力

厚度误差对特定波段光子晶体温度传感器的影响

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电子元件与材料 2015年第5期34卷 34-37页

作者：张爱华温廷敦许丽萍王志斌丰春芳中北大学物理系山西太原030051 中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 中北大学山西省光电信息与仪器工程技术研究中心山西太原030051

以工作在特定波段的光子晶体温度传感器作为研究对象,通过具体的数值模拟发现:温度变化时,基于光子晶体的热膨胀效应和热光效应,透射峰峰值保持不变,同时透射峰和光子带隙发生漂移。测量透射峰中心波长或光子带隙的起始波长即可得到光... 详细信息

以工作在特定波段的光子晶体温度传感器作为研究对象,通过具体的数值模拟发现:温度变化时,基于光子晶体的热膨胀效应和热光效应,透射峰峰值保持不变,同时透射峰和光子带隙发生漂移。测量透射峰中心波长或光子带隙的起始波长即可得到光子晶体对温度变化的灵敏度。分析了介质层的厚度误差对光子晶体温感特性的影响。引入误差后,透射峰与光子晶体温度传感器的灵敏度保持不变,但透射峰的中心波长与光子带隙所在波段发生改变,从而影响了光子晶体温度传感器的工作波段。

关键词：光子晶体温度传感器特定波段透射峰光子带隙起始波长厚度误差

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带材轧机的厚度误差与轧机刚度的关系