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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 半导体薄膜
  • 1 篇 压阻特性参数
  • 1 篇 压力传感器

机构

  • 1 篇 北京理工大学

作者

  • 1 篇 祝冰
  • 1 篇 许德华

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=压阻特性参数"
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薄淀积膜压阻系数π∥π⊥测量
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引用
传感器技术 1995年 第4期14卷 40-43页
作者： 许德华 祝冰 北京理工大学
半导体薄膜开始用于力敏器件，评价薄膜自身的压阻特性是十分重要的。但迄今报导的参数，通常是薄膜与基片粘附成一体的复合样品测量值，原因在于膜薄难剥，剥离之后测量也不易。建立等效模型，提出新的计算式，以便在基片淀积膜之前和... 详细信息
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