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  • 13 篇 电子文献
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主题

  • 13 篇 半球陀螺
  • 3 篇 半球谐振子
  • 1 篇 结构参数优化
  • 1 篇 信息矩阵
  • 1 篇 深腔光刻
  • 1 篇 溅射镀膜
  • 1 篇 质量调平
  • 1 篇 充放电效应
  • 1 篇 误差模型
  • 1 篇 漂移
  • 1 篇 电感耦合等离子体...
  • 1 篇 保形磨具
  • 1 篇 压电
  • 1 篇 曝光间隙
  • 1 篇 谐振子
  • 1 篇 q值
  • 1 篇 硅半球深腔
  • 1 篇 聚二甲基硅氧烷
  • 1 篇 球面电极
  • 1 篇 铸模

机构

  • 2 篇 四川压电与声光技...
  • 2 篇 哈尔滨工业大学
  • 2 篇 华东光电集成器件...
  • 1 篇 长春理工大学
  • 1 篇 上海交通大学
  • 1 篇 达州职业技术学院
  • 1 篇 中国人民解放军驻...
  • 1 篇 重庆市固态惯性技...
  • 1 篇 重庆市固态惯性技...
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  • 1 篇 中国电子科技集团...
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作者

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  • 1 篇 武士轻
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  • 1 篇 吴梦茹
  • 1 篇 郭群英
  • 1 篇 陈璞
  • 1 篇 王文婧
  • 1 篇 李子昂
  • 1 篇 蒋春桥

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  • 13 篇 中文
检索条件"主题词=半球陀螺"
13 条 记 录,以下是1-10 订阅
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MEMS硅半球陀螺球面电极成形工艺
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光学精密工程 2016年 第11期24卷 2746-2752页
作者: 庄须叶 喻磊 王新龙 李平华 吕东锋 郭群英 华东光电集成器件研究所 安徽蚌埠233042
由于球面电极是曲面结构,电极各处的电感耦合等离子体(ICP)刻蚀深度不一致,在加工过程中常发生球面电极还未刻蚀到位而谐振器已被破坏的现象,故本文提出了新的球面电极成形工艺。基于ICP刻蚀固有的lag效应,采用刻蚀窗口宽度由60μm渐变... 详细信息
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半球陀螺敏感单元充放电效应防护设计与分析
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压电与声光 2018年 第6期40卷 892-895页
作者: 杨勇 简福斌 方海斌 方针 张巧云 周强 余波 张乐 中国电子科技集团公司第二十六研究所 重庆400060 重庆市固态惯性技术企业工程技术研究中心 重庆400060 重庆市固态惯性技术工程实验室 重庆400060 中国人民解放军驻重庆气体压缩机厂军事代表室 重庆400060
半球陀螺作为卫星姿态控制系统的核心部件,在空间应用领域受到辐射环境的影响,其充放电效应是威胁卫星安全的重要因素之一。该文介绍了半球陀螺敏感单元空间、充放电效应的影响,分析了敏感单元的材料基底,提出了充、放电效应防护设计、... 详细信息
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提高半球陀螺动态特性的优化设计
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压电与声光 2014年 第4期36卷 575-579页
作者: 覃施甦 方针 方海斌 周强 江黎 中国电子科技集团公司第26研究所 重庆400060
该文研究了如何提高半球陀螺的设计带宽以满足某平台惯性导航系统的工程化应用。采用实验方法得到陀螺头部增益和传递函数,运用比例-积分-微分控制相结合的校正方法来设计控制回路,并通过仿真软件确定了传递函数的零极点,而仿真绘制的... 详细信息
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半球陀螺谐振子成型工艺研究
半球陀螺谐振子成型工艺研究
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作者: 武士轻 长春理工大学
学位级别:硕士
半球谐振陀螺是20世纪60年代才出现的一种新型陀螺半球谐振陀螺半球形谐振子、静电激励罩、敏感读出基座3部分组成,均由高品质因数(Q)的熔融石英玻璃材料精密加工而成,并在表面上进行金属化处理。将振子、静电激励罩、敏感基座精密... 详细信息
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半球陀螺谐振子的力学性能及振动特性分析
半球陀螺谐振子的力学性能及振动特性分析
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作者: 李子昂 哈尔滨工业大学
学位级别:硕士
半球谐振陀螺是一种具有高精度、高可靠性、抗冲击、不需预热、启动时间短、寿命长等突出优点的新型陀螺半球谐振子是半球谐振陀螺的核心元件,半球陀螺利用其径向振动驻波进动效应来实现角度和转速测量。目前国内对半球陀螺的研究主... 详细信息
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半球陀螺加工用球头砂轮修整装置研制与修整工艺研究
半球陀螺加工用球头砂轮修整装置研制与修整工艺研究
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作者: 张坤 哈尔滨工业大学
学位级别:硕士
半球陀螺加工用球头砂轮在位修整技术是提高半球谐振子加工精度的一项关键技术,本文主要针对加工半球谐振子的铸铁基金刚石砂轮的电火花在位修整技术进行深入的研究。首先,深入了解半球谐振子的加工原理及加工机床的各项功能,并针对半... 详细信息
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压电半球谐振微陀螺仪数字控制检测电路探究
压电半球谐振微陀螺仪数字控制检测电路探究
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作者: 汪濙海 上海交通大学
学位级别:硕士
半球谐振微陀螺仪是近年来急速发展起来的一种新型固态微陀螺仪。由于其抗冲击性能好,具有良好的稳定性、较高的测量精度、长期的使用寿命,并且具有独特的关机抗辐射能力,所以它在空间领域作为姿态稳定控制或惯性测量单元的关键部件有... 详细信息
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半球谐振陀螺Q值测试技术研究
半球谐振陀螺Q值测试技术研究
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中国惯性技术学会第五届学术年会
作者: 李先梅 蒋春桥 余波 张挺 彭慧 雷霆 方针 四川压电与声光技术研究所 四川压电与声光技术研究所 四川压电与声光技术研究所 四川压电与声光技术研究所 四川压电与声光技术研究所 四川压电与声光技术研究所 四川压电与声光技术研究所
半球谐振子的Q值对半球陀螺的性能指标有重大的影响。对半球陀螺谐振子的Q值进行测试和提高是半球陀螺研制的关键。本文介绍了Q值测试的基本原理和相关的测试技术,给出了相应的实验数据。
来源: cnki会议 评论
半球谐振陀螺的漂移机理分析
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计算机光盘软件与应用 2014年 第11期17卷 304-304,306页
作者: 覃施甦 中国电子科技集团第26研究所 重庆400060
本文主要介绍了漂移的分类,分成系统漂移和随机漂移。对非对称阻尼漂移、剩余正交振动漂移、非线性影响下产生的固定偏置漂移、环形电极的不对称性产生的附加漂移、参数激励系统在非最佳调试状态时产生的漂移情况进行了研究分析,建立了... 详细信息
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基于信息矩阵和神经网络的振动陀螺动态建模
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计算机仿真 2015年 第11期32卷 391-394页
作者: 何旭 达州职业技术学院 四川达州635001
为了分析半球谐振陀螺的动态响应过程、得到陀螺的动态性能参数,推进半球陀螺的实用化水平,首先分析了反馈式半球谐振陀螺的工作原理。然后构造了由输入输出量组成的信息矩阵,给出了模型系数估计的最优目标函数,对信息矩阵进行Househol... 详细信息
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