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半导体晶片温度监视器

光机电信息 1995年第3期12卷 42-43页

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半导体晶片的金刚石工具切割技术

金刚石与磨料磨具工程 2004年第1期24卷 10-14页

作者：解振华魏昕黄蕊慰熊伟广东工业大学机电学院广州市东风东路729号510090

晶片切割是半导体加工的重要工序,它直接影响到晶片的成本、质量以及各种性能。目前,晶片切割主要的方法有金刚石内圆切割和线切割。本文详细介绍了内圆切割和线切割系统的特点、存在的主要问题及其改进方法。内圆切割具有切片精度高、... 详细信息

晶片切割是半导体加工的重要工序,它直接影响到晶片的成本、质量以及各种性能。目前,晶片切割主要的方法有金刚石内圆切割和线切割。本文详细介绍了内圆切割和线切割系统的特点、存在的主要问题及其改进方法。内圆切割具有切片精度高、径向和晶片厚度方向调整方便、加工成本低等优点,改进装刀方法,提高刀片的安装精度,可刀片受力均匀,有效减小锯切损伤程度。线切割是最新发展的一种晶片加工方法,具有多片切割效率高、损伤层厚度小等优点,在大直径(Φ≥200mm)薄(厚度≤0.3mm)晶片的加工中有着广泛的应用前景。提高切割线的刚度,减小线的横向振动,可提高线切割精度和切割线的利用率。

关键词：半导体晶片内圆切割 ID切割线切割金刚石工具

采用李兹线路的射频加热技术用于半导体晶片生产

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国外金属热处理 1997年第6期18卷 11-12页

作者：易汉平李俏机械工业部北京机电研究所北京100083

0 前言基于多种原因,射频(RF)是一种十分理想的材料加工技术,其中最重要的原因是清洁。RF加热时只有基板和基片承受高温,其他生长工艺比如Czbchralski晶生产中若采用导电材料,连基座都不需要。当材料在很高的温度下无法置于坩埚中时。

关键词：射频加热半导体晶片李兹线路生产

碳化硅缺陷有望成为器件友好的量子比特——广泛使用的商品级半导体晶片可在室温下进行相干操控

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物理 2012年第1期41卷 41-41页

作者：杜江峰马文超中国科学技术大学

任何量子计算方案的中心元素都是量子比特，这是一种类似于自旋为1／2的电子的双态体系．在计算过程中，量子比特的状态经历着各种变化；计算一旦完成，需要确定量子比特是“朝上”还是“向下”的．不幸的是，量子比特也要与环境相互作... 详细信息

任何量子计算方案的中心元素都是量子比特，这是一种类似于自旋为1／2的电子的双态体系．在计算过程中，量子比特的状态经历着各种变化；计算一旦完成，需要确定量子比特是“朝上”还是“向下”的．不幸的是，量子比特也要与环境相互作用，这会使其量子态遭受破坏，或者退相干．任何有用的量子比特，在进行一系列有价值的量子操作时，都必须抵抗退相干．

关键词：量子比特退相干半导体晶片商品级碳化硅操控室温器件

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大型石墨涂层

现代化工 2009年第5期29卷 92-93页

美国纽瓦克市的新泽西理工学院（NJTT）的科学家使用化学修饰机械抛光方法，可以使石墨能够被大面积地沉积在基质上，形成石墨薄膜。该材料完美的二维晶体性质和导电性能，将促使其应用于电子设备中所需要的高速、柔性的电路元件。该化... 详细信息

美国纽瓦克市的新泽西理工学院（NJTT）的科学家使用化学修饰机械抛光方法，可以使石墨能够被大面积地沉积在基质上，形成石墨薄膜。该材料完美的二维晶体性质和导电性能，将促使其应用于电子设备中所需要的高速、柔性的电路元件。该化学修饰机械抛光方法是一种使半导体晶片表面变平滑的典型加工手段，使得基质上覆盖上几百微米尺度范围的由硅、阳极化氧化铝或铜组成的薄膜。

关键词：石墨涂层机械抛光化学修饰半导体晶片导电性能晶体性质电子设备电路元件

世界海关组织1996年版《协调制度》简介（连载十一）

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中国海关 1996年第11期 21-22页

作者：李志辉

世界海关组织１９９６年版《协调制度》简介（连载十一）李志辉第十七类车辆、航空器、船舶及有关运输设备一、概述第十七类由第８６章、第８７章、第８８章、第８９章组成。此次修改主要涉及第８６章、第８７章两章，其中修改类注、章... 详细信息

世界海关组织１９９６年版《协调制度》简介（连载十一）李志辉第十七类车辆、航空器、船舶及有关运输设备一、概述第十七类由第８６章、第８７章、第８８章、第８９章组成。此次修改主要涉及第８６章、第８７章两章，其中修改类注、章注３处，税目条文２处。二、类注、章...

关键词：海关组织调制度 1996年版商品范围税号子目拖拉机修改情况半导体晶片国际贸易

美商睿思科技于IIC-China展出全球最快的USB3．0主端控制器解决方案

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测控技术 2011年第3期30卷 121-122页

美国半导体晶片设计公司睿思科技于国际集成电路研讨会暨展览会（IIC—China）展出USB3．0主端控制器解决方案，其最新的USB3．0主端控制器芯片FL1009不仅拥有高达393MB／s、全球最快的读写传输效能，同时也是目前唯一支援无压缩1080p... 详细信息

美国半导体晶片设计公司睿思科技于国际集成电路研讨会暨展览会（IIC—China）展出USB3．0主端控制器解决方案，其最新的USB3．0主端控制器芯片FL1009不仅拥有高达393MB／s、全球最快的读写传输效能，同时也是目前唯一支援无压缩1080p／60祯全高清同步传输（isochronous transfer）的主端控制器。

关键词：控制器芯片科技同步传输半导体晶片集成电路 MB/s 展览会读写

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新型半导体材料

材料导报 1991年第8期5卷 13-16页

作者：薛家政中国科技情报所重庆分所

在最近的将来,硅仍是生产集成电路的主要半导体材料。但是,硅集成电路已接近物理极限,其速度和集成密度很难进一步大幅度提高。此外,硅的发光特性差,不适合于光电子应用。其它一些半导体,主要是Ⅲ-V簇化合物如砷化镓(GaAs),虽然会发光,... 详细信息

在最近的将来,硅仍是生产集成电路的主要半导体材料。但是,硅集成电路已接近物理极限,其速度和集成密度很难进一步大幅度提高。此外,硅的发光特性差,不适合于光电子应用。其它一些半导体,主要是Ⅲ-V簇化合物如砷化镓(GaAs),虽然会发光,也可用来制造速度快得多的集成电路,但是它们的机械强度和散热等特性远不如硅,而且昂贵得多。工业和科学的发展,需要兼有硅和GaAs两者的优良特性的新半导体材料。在过去十年中。

关键词：半导体材料半导体晶片半导体薄膜

Heuristic tabu search scheduling algorithm for wet-etching systems in semiconductor wafer fabrications

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High Technology Letters 2013年第2期19卷 111-116页

作者：周炳海 Li Xin School of Mechanical Engineering Tongji University Department of Systems Engineering and Engineering Management City University of Hong Kong

To improve overall equipment efficiency(OEE) of a semiconductor wafer wet-etching system,a heuristic tabu search scheduling algorithm is proposed for the wet-etching process in the paper,with material handling robot capacity and wafer processing time constraints of the process modules ***,scheduling problem domains of the wet-etching system(WES) are assumed and defined,and a non-linear programming model is built to maximize the throughput with no defective *** the basis of the model,a scheduling algorithm based on tabu search is presented in this *** improved Nawaz,Enscore,and Ham(NEH) heuristic algorithm is used as the initial feasible solution of the proposed heuristic ***,performances of the proposed algorithm are analyzed and evaluated by simulation *** results indicate that the proposed algorithm is valid and practical to generate satisfied scheduling solutions.

关键词：半导体晶片启发式算法调度算法禁忌搜索腐蚀系统蚀刻晶圆制造非线性规划模型