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  • 1 篇 管理学
    • 1 篇 公共管理

主题

  • 2 篇 半导体加工设备
  • 1 篇 皮拉尼传感器
  • 1 篇 顺应度
  • 1 篇 传递率
  • 1 篇 真空传感器
  • 1 篇 自抗扰控制
  • 1 篇 绝对速度反馈
  • 1 篇 主动隔振

机构

  • 1 篇 大连理工大学
  • 1 篇 中国电子科技集团...
  • 1 篇 山东大学

作者

  • 1 篇 张乾
  • 1 篇 王俊杰
  • 1 篇 刘帅
  • 1 篇 汪家奇
  • 1 篇 王三霞
  • 1 篇 柳滨

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=半导体加工设备"
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半导体加工设备主动隔振仿真和实验研究
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动力学与控制学报 2024年 第12期22卷 54-60页
作者： 王三霞 柳滨 张乾 王俊杰 刘帅 山东大学软件学院 济南250100 中国电子科技集团公司第四十五研究所 北京100176 山东大学控制科学与工程学院 济南250061
针对半导体加工设备设计了一种主动隔振策略.分析了隔振机构的内部垂向参数特性并建立了隔振机构动力学模型.由于半导体加工设备的隔振装置由基座、隔振机构和由隔振机构支撑的各个部件组成,因此隔振机构动力学模型将基座、隔振机构、... 详细信息
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自制集成皮拉尼真空传感器系统在半导体加工设备中的应用
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实验技术与管理 2018年 第1期35卷 92-94,103页
作者： 汪家奇 大连理工大学微电子学院 辽宁大连116023
为打破国外的技术垄断,研发了一款能够敏感105~10-1 Pa的皮拉尼真空传感器,该传感器利用CMOS工艺加工,在同一个硅片上集成了传感器单元、采集电路、信号处理电路及数字接口电路,构成与CMOS工艺兼容的集成皮拉尼真空检测系统,可直接用于... 详细信息
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