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文献类型

  • 1 篇 学位论文

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学

主题

  • 1 篇 渐变结构螺旋线圈
  • 1 篇 品质因素
  • 1 篇 封装
  • 1 篇 电感耦合
  • 1 篇 半圆弧式
  • 1 篇 介质基片
  • 1 篇 微等离子体

机构

  • 1 篇 华东师范大学

作者

  • 1 篇 黄加华

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=半圆弧式"
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小功率平面螺旋电感耦合微波微等离子体的研究
小功率平面螺旋电感耦合微波微等离子体的研究
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引用
作者： 黄加华 华东师范大学
学位级别：硕士
本课题由国家自然科学基金项目“小功率微波微等离子体的研究”（批准号：61072007）资助。 随着微电子、微波和等离子体一体化的发展,人们越来越关注基于微系统的小功率微波等离子体源的研究。而电感耦合等离子体源（ICPS）具有结... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
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