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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程

主题

  • 1 篇 光学检漏
  • 1 篇 真空封装
  • 1 篇 激光干涉
  • 1 篇 十字中心定位法

机构

  • 1 篇 中国科学院材料力...
  • 1 篇 中国科学技术大学

作者

  • 1 篇 赵旸
  • 1 篇 侯虎旺
  • 1 篇 张鹏
  • 1 篇 张浩威

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=十字中心定位法"
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基于十字中心定位算法的MEMS真空封装光学检漏方法
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传感器与微系统 2024年 第10期43卷 146-149页
作者： 张浩威 侯虎旺 赵旸 张鹏 中国科学院材料力学行为和设计重点实验室 安徽合肥230026 中国科学技术大学精密科学仪器安徽普通高校重点实验室 安徽合肥230026 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系 安徽合肥230026
典型的光学检漏方法需要对整幅干涉图甚至多幅干涉图进行图像处理,过程相对复杂。本文结合MEMS器件封装结构的对称特性以及变形分布特征,提出了一种简单、快捷的十字中心定位算法。通过确定干涉图案中心点坐标,获取中心线光强分布,进而... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 博看期刊 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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