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化学刻蚀工艺参数对刻蚀速率的影响
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佳木斯大学学报(自然科学版) 2017年 第3期35卷 409-412页
作者: 王洪祥 沈璐 王晓霞 李成福 哈尔滨工业大学机电工程学院 黑龙江哈尔滨150001 佳木斯大学机械工程学院 黑龙江佳木斯154007
本文系统分析了化学刻蚀过程中反应生成的扩散和物质传输规律,得到了刻蚀工艺参数如时间、温度、HF酸浓度、辅助试剂对刻蚀速率的影响规律。结果表明:在刻蚀时间较短时刻蚀速率基本恒定,随着时间的增加刻蚀速率呈现逐渐下降的趋势。温... 详细信息
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化学刻蚀和微电铸联合工艺制备微流控芯片金属模具的研究
化学刻蚀和微电铸联合工艺制备微流控芯片金属模具的研究
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第15届全国特种加工学术会议
作者: 郑文书 郭钟宁 陈日 许俊 江树镇 梁远标 广东工业大学机电工程学院
化学刻蚀和微电铸联合工艺制备微流控芯片金属模具进行了研究。比较了化学刻蚀前后阴极掩膜基片的表面形貌,结果表明化学刻蚀能进一步去除残胶,并且为获取高深宽比电铸结构提供条件。通过化学刻蚀和微电铸联合工艺试验,获得表面组织... 详细信息
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化学刻蚀技术研究热致性液晶聚合物的微结构(英文)
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湘潭大学自然科学学报 1990年 第4期 142-148页
作者: 董炎明 湘潭大学化学
浓硫酸被发展用于刻蚀主链热致性液晶共聚芳酯B-N的条带织构,它对该液晶聚合物的向列织构有良好的选择性。用SEM和TEM揭示了微纤形态。特别是非平面构象、B-ET用高锰酸钾刻蚀也观察到微纤的条带织构。对微纤转弯处的优先刻蚀现象用PET... 详细信息
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镍钛合金形状记忆薄膜的化学刻蚀
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微细加工技术 1999年 第3期 20-26页
作者: 丁桂甫 徐东 赵小林 张寿柏 蔡炳初 沈天慧 上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细加工开放实验室 上海200030
镍钛合金形状记忆薄膜的图形化技术曾是其实用化的主要障碍之一,现在,一种工作性能优越的化学刻蚀液可以实现薄膜的高精度图形化,该刻蚀液常温工作,性能稳定,刻蚀速率在1~5 微米/分之间均可得到满意的刻蚀线条。常规制作的光... 详细信息
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回转体表面微沟槽阵列化学刻蚀加工
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模具制造 2021年 第2期20卷 73-78页
作者: 杜立群 张希 肖海涛 于洋 王胜羿 关发龙 大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室辽宁大连116024 大连理工大学 辽宁省微纳米及系统重点实验室辽宁大连116024
表面具有微沟槽结构的回转体可作为压辊模具应用于滚动压印工艺,实现微结构的快速复制,也可应用于耐磨减摩及编码轮制造等诸多方面。采用基于干膜的化学刻蚀加工技术,以304不锈钢回转体为研究对象,提出了一种通过优选刻蚀液成分及刻蚀... 详细信息
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适于集成激光器——聚酰亚胺光波导的镜面化学刻蚀
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半导体光电 1985年 第4期 82-85页
作者: 刘明大 李淑文 张晖 吉林大学 吉林大学 电子科学系八四届毕业生
引言光波导是构成集成光学的基本原件,是实现单片集成的关键。在半导体集成光路中需要一个低损耗的无源波导,作为有源元件之间的互连。最近报导一种很有希望的新型介质互连波导,称作淀积——旋转涂敷互连波导(DSWI)。是在GaInAsP/InP... 详细信息
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金纳米簇的化学刻蚀及聚集诱导发光新材料的发光传感研究
金纳米簇的化学刻蚀及聚集诱导发光新材料的发光传感研究
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中国化学会第十三届全国分析化学年会
作者: 苏磊 舒桐 王健行 张学记 北京科技大学
d过渡金属硫醇配位寡聚物是指一类基于金-巯键的低聚态配合物。近年来发现,这类配合物通过聚集诱导作用,比如溶剂诱导、阳离子诱导等,能产生出聚集诱导发光(AIE),在化学传感器、生物成像等方面的存在诱人应用前景。1在这个领域,我们围... 详细信息
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镍钛合金薄膜多元化学刻蚀
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电镀与涂饰 2000年 第4期 64-65页
公开号 CN 1 2 4 2 4 38A  申请人 上海交通大学  地址  2 0 0 0 30上海市化山路 1 954号  一种镍钛合金薄膜多元化学刻蚀剂 ,由 1 %~ 2 5%(V)氢氟酸 ,0 5%~ 1 5%(V)硝酸 ,2 %~ 2 0 %(V)盐酸和主要成份是磺酸钾 ,次... 详细信息
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基于化学约束刻蚀剂层技术的铜表面加工研究
基于化学约束刻蚀剂层技术的铜表面加工研究
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作者: 李哲 大连理工大学
学位级别:硕士
铜具有低的电阻率和高的电子迁移阻力,在半导体产业中作为为集成电路的互连材料而得到广泛的应用。为了解决随集成电路小型化而出现的RC延迟、层间串扰等问题,low-k材料成为互连线的主要层间介质。化学机械抛光(Chemical Mechanical Pol... 详细信息
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铝及铝铜复合散热器化学刻蚀的局部电镀、化学镀工艺
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中国有色金属 2008年 第24期 81-81页
该发明涉及铝及铝铜复合散热器的电镀、化学镀工艺技术领域,特指一种铝及铝铜复合散热器化学刻蚀的局部电镀、化学镀工艺,该发髓是在对散热器进行浸锌工艺之前对散热器进行化学氧化、封闭和局部化学刻蚀,即仅在铝及铝铜复合散热器与... 详细信息
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