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主题

  • 1 篇 照明均匀性
  • 1 篇 匀光单元
  • 1 篇 光学设计
  • 1 篇 光刻
  • 1 篇 照明系统

机构

  • 1 篇 中国科学院大学
  • 1 篇 中国科学院上海光...

作者

  • 1 篇 袁春晓
  • 1 篇 王刚
  • 1 篇 张方
  • 1 篇 李中梁

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=匀光单元"
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光刻机照明系统匀光单元光学设计与仿真
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中国激光 2023年 第13期50卷 131-141页
作者： 王刚 李中梁 袁春晓 张方 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室 上海201800 中国科学院大学 北京100049
针对光刻机照明系统矩形光场的均匀照明需求,提出了一种基于单排平凸微柱面镜阵列与小长宽比积分棒相结合的匀光单元方案。分析了小长宽比积分棒输入光场的角度分布特性和宽度对照明均匀性的影响。使用单排平凸微柱面镜阵列进行预匀光... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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