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  • 1 篇 氧化铬薄膜
  • 1 篇 x射线光电子能谱
  • 1 篇 钛氧化物薄膜
  • 1 篇 aes
  • 1 篇 俄歇电子能谱

机构

  • 2 篇 辐射物理和技术教...

作者

  • 2 篇 黄宁康
  • 1 篇 展长勇
  • 1 篇 王治安
  • 1 篇 杜纪富
  • 1 篇 代海洋

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=动态离子束混合技术"
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动态离子束混合技术制备氧化铬薄膜的X射线光电子能谱与俄歇电子能谱研究
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核技术 2007年 第5期30卷 419-423页
作者： 代海洋 王治安 黄宁康 辐射物理和技术教育部重点实验室四川大学原子核科学技术研究所 成都610064
本文介绍的动态离子束混合技术制备氧化铬薄膜系在不锈钢基体上进行1keV氩离子束溅射沉积铬(同时通入一定量的O),并用100keV的氩离子束或氧离子束轰击该样品。对两种离子束轰击形成的氧化铬薄膜进行了X射线光电子能谱(X-ray photoelectr... 详细信息
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动态离子束混合制备的钛氧化物薄膜的AES和XPS研究
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真空科学与技术学报 2007年 第3期27卷 241-245页
作者： 展长勇 杜纪富 黄宁康 辐射物理和技术教育部重点实验室四川大学原子核科学技术研究所 成都610064
分别采用O+和Ar+离子束轰击的动态离子束混合技术,在不锈钢基体上制备钛的氧化物薄膜。经X射线光电子能谱(XPS)和俄歇电子能谱(AES)分析,研究这两种工艺制备薄膜的化学组成和价键状态。结果表明,采用动态离子束混合技术制备的薄膜,可形... 详细信息
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