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  • 1 篇 等离子体沉积
  • 1 篇 制备

机构

  • 1 篇 北京师范大学

作者

  • 1 篇 张涛
  • 1 篇 李永良
  • 1 篇 宋教花
  • 1 篇 侯君达
  • 1 篇 邓志威

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=动态离子束增强沉积"
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阴极弧等离子体沉积NbN薄膜
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真空 2001年 第1期38卷 28-31页
作者： 宋教花 张涛 侯君达 邓志威 李永良 北京师范大学低能核物理研究所 北京100875 北京师范大学分析测试中心 北京100875
利用磁过滤等离子体沉积装置 ,结合金属等离子体沉积技术 ,在 Si基底上分别用动态离子束增强沉积和非增强沉积的方法来制备 Nb N膜 ,对二者予以比较 ,并探讨了非增强沉积过程中基底温度对 Nb N膜层的影响。温度升高使膜层中 N的含量先... 详细信息
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