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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 晶圆凸点
  • 1 篇 垂直剪切镀
  • 1 篇 电力线
  • 1 篇 屏蔽件
  • 1 篇 剪切屏

机构

  • 1 篇 西北电子装备技术...

作者

  • 1 篇 胡子卿
  • 1 篇 魏红军
  • 1 篇 段晋胜

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=剪切屏"
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晶圆精密电镀中的垂直剪切镀设备的研制
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引用
电子工艺技术 2013年 第3期34卷 178-180页
作者： 段晋胜 魏红军 胡子卿 西北电子装备技术研究所 山西太原030024
凸点的制作方法有很多种,但是电镀法可以制作各类凸点,它对芯片的I/O数、焊区尺寸大小及凸点节距均没有限制,且适于大批量生产。介绍了垂直剪切镀技术的基本原理,根据微电子圆片级封装在硅圆片上制作凸点的需要,设计研制了一套设备。经... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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