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  • 1 篇 工学
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主题

  • 1 篇 刻蚀非线性
  • 1 篇 刻蚀速率
  • 1 篇 干法技术
  • 1 篇 hgcdte
  • 1 篇 微台面列阵

机构

  • 1 篇 中国科学院上海技...

作者

  • 1 篇 郭靖
  • 1 篇 何力
  • 1 篇 胡晓宁
  • 1 篇 叶振华

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=刻蚀非线性"
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HgCdTe焦平面探测阵列干法技术的刻蚀速率研究
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激光与红外 2005年 第11期35卷 829-831页
作者： 叶振华 郭靖 胡晓宁 何力 中国科学院上海技术物理研究所材料器件中心 上海200083
首次报道了HgCdTe焦平面探测器微台面列阵成形工艺的干法技术有关刻蚀速率的一些研究结果。从HgCdTe外延材料的特点出发,详细分析了其干法刻蚀适用的R IE(ReactiveIon Etching)设备、刻蚀原理以及刻蚀速率的影响因素。采用ICP(Inductive... 详细信息
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