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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学

主题

  • 1 篇 初始空位浓度
  • 1 篇 硅晶圆
  • 1 篇 v-o2对
  • 1 篇 仿真

机构

  • 1 篇 山东大学
  • 1 篇 奥派咨询有限责任...

作者

  • 1 篇 关小军
  • 1 篇 王善文
  • 1 篇 关宇昕

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=初始空位浓度"
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初始空位浓度对硅晶圆中V-O2对演变影响的仿真
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徐州工程学院学报（自然科学版） 2020年 第1期35卷 6-11页
作者： 关小军 关宇昕 王善文 山东大学材料科学与工程学院 山东济南250061 奥派咨询有限责任公司 高科技园区埃因霍温荷兰5656AE
为了揭示初始空位浓度对低温退火的硅晶圆内V-O2对演变的影响,基于所建相场模型及其应用程序,对随机均匀分布的3个初始空位浓度条件下硅晶圆内V-O2对演变进行了模拟研究.结果表明:随着初始空位浓度平均值的减小,V-O2对数量相应减少且变... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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