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MEMS几何学及电学PCM参数电提取研究

MEMS几何学及电学PCM参数电提取研究

作者：李晓鹏东南大学

学位级别：硕士

微电子机械系统(MEMS)是近年来国际上兴起的一个新的研究领域,是新一轮技术产业革命。目前,世界各国对MEMS的投入力度在逐年增大,然而,MEMS的应用却比预期的要慢,其中主要原因是MEMS器件的可靠性不能得到保证。除了为数不多的MEMS产品... 详细信息

微电子机械系统(MEMS)是近年来国际上兴起的一个新的研究领域,是新一轮技术产业革命。目前,世界各国对MEMS的投入力度在逐年增大,然而,MEMS的应用却比预期的要慢,其中主要原因是MEMS器件的可靠性不能得到保证。除了为数不多的MEMS产品进入市场外,相当一部分MEMS器件依然停留在实验室阶段。MEMS表面微机械加工工艺开始于20世纪80年代,克服了体微机械加工工艺的诸多缺陷,工艺相对成熟且与集成电路生产工艺兼容,成为当前最主要的MEMS加工工艺之一。PCM系统是提高器件可靠性和生产效率的最有效手段之一,因此,为MEMS表面加工工艺建立一套PCM系统具有重要意义。一个完整的MEMS表面加工工艺PCM系统应当包括三个部分:电学参数提取、几何学参数提取和材料特性参数提取。本文的研究内容是影响MEMS器件性能的主要电学参数和几何学参数的电提取。本文首先介绍MEMS的起源、概念及应用前景,讨论了开展MEMS工艺参数提取研究的意义,随后详细介绍了MEMS表面加工工艺和需要测量的MEMS电学、几何学参数,并针对MEMS表面加工工艺PCM参数提取的特殊性介绍了几种传统厚度测量方法。在介绍了范德堡原理后,提出了适合MEMS表面加工工艺的薄层电阻测试结构,用以测量多晶1、多晶2和金属层的薄层电阻;然后阐述了金属半导体接触原理,设计了MEMS表面加工工艺的接触电阻测试结构。套准误差对器件性能的影响是直接且显著的,锚区作为MEMS表面加工工艺所特有的结构,它的工艺偏差对MEMS器件性能有着非常重要的影响,文中提出了测量多晶1与多晶2层间的套准误差电学测试结构,该结构同样适用于多晶2与金属层间的套准误差测试。此后,论文又针对MEMS表面加工工艺的特点,给出了适宜的导电层线宽测试结构,用以测量多晶1、多晶2和金属层的线宽。与集成电路不同,MEMS器件对薄膜厚度极其敏感,论文随即提出了三种新颖的厚度测试结构和结构模型,分别针对MEMS表面加工工艺中的结构层和牺牲层厚度测量。为了对测试结构和结构模型进行验证,对导电层厚度测试结构和电阻型牺牲层厚度测试结构设计了工艺实验。实验结果表明,导电层厚度测试结构的测试结果与传统厚度测试仪的测试结果有较好的一致性,而电阻型牺牲层厚度测试结构则存在一定的测量误差,本文最后提出了电阻型牺牲层厚度测试结构的改进方案。

关键词： MEMS 表面加工工艺 PCM参数提取测试结构几何学参数电学参数

基于DICOM格式DSA图像几何学参数的计算机辅助测量方法研究

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医疗卫生装备 2015年第2期36卷 34-35,65页

作者：张立波杨本强刘文源邹明宇朱洪峰李军沈阳军区总医院放射诊断科沈阳110016

目的 :设计实现基于DICOM格式的数字减影血管造影术(digital subtraction angiography,DSA)影像几何学参数的计算机辅助测量功能。方法:软件由VC++6.0及Lead Tools工具包在Windows XP操作系统中开发实现。结果:该软件成功地实现了计算... 详细信息

目的 :设计实现基于DICOM格式的数字减影血管造影术(digital subtraction angiography,DSA)影像几何学参数的计算机辅助测量功能。方法:软件由VC++6.0及Lead Tools工具包在Windows XP操作系统中开发实现。结果:该软件成功地实现了计算机辅助测量计算线段距离、曲线长度、区域面积等几何学参数功能,在实际应用中取得了良好的效果。结论:相比传统人工方式,该方法显著地提高了DSA图像几何学参数测量的精度与速度,提高了DSA诊断与治疗的精确性与效率,具有广阔的应用前景和推广价值。

关键词： DICOM DSA 计算机辅助几何学参数 Lead Tools

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碳酸盐岩储层多尺度孔洞缝的识别与表征--以川西北双鱼石构造中二叠统栖霞组白云岩储层为例

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天然气工业 2020年第3期40卷 48-57页

作者：王俊杰胡勇刘义成何溥为兰雪梅文雯中国石油西南油气田公司勘探开发研究院中国石油西南油气田公司

对于具有强非均质性的多尺度储集空间的碳酸盐岩储层,仅采用单一的测试手段难以识别出所有的储集空间。为了给碳酸盐岩油气藏精细刻画及高效开发提供技术支撑,以四川盆地西北部双鱼石构造中二叠统栖霞组白云岩储层为研究对象,针对其发... 详细信息

对于具有强非均质性的多尺度储集空间的碳酸盐岩储层,仅采用单一的测试手段难以识别出所有的储集空间。为了给碳酸盐岩油气藏精细刻画及高效开发提供技术支撑,以四川盆地西北部双鱼石构造中二叠统栖霞组白云岩储层为研究对象,针对其发育多个尺度的孔洞缝,采用岩心图像采集仪和双能CT对不同尺度岩心的孔洞缝进行刻画,借助三维可视化软件对重构孔隙空间进行定量化分析,实现了不同尺度下孔洞缝的搭配关系表征以及储集类型划分,并建立了一套基于几何学参数识别裂缝、溶洞的方法。研究结果表明:(1)该区栖霞组储层发育多个尺度的孔洞缝储集空间,可划分为3大类6种类型,孔隙以晶间溶孔、晶间孔为主,溶洞以小洞为主,裂缝以斜交缝为主;(2)建立起了一套基于几何学参数识别裂缝、溶洞的方法,球形度小于0.43、球半径比小于0.41为裂缝识别标准,等效球半径大于2 mm为溶洞识别表征;(3)栖霞组储层的孔隙以直径介于0.02~2.00 mm的大孔隙为主,溶洞以2.00~10.00mm的小洞为主,发育多个级别的裂缝;(4)栖霞组白云岩储集类型以裂缝-孔洞型、裂缝-孔隙型为主,缝洞发育程度是影响该储层物性的关键因素,栖霞组裂缝发育的储集类型占比超过50%,渗流能力较好。

关键词：四川盆地西北部中二叠世栖霞期碳酸盐岩白云岩储集层多尺度表征几何学参数孔洞缝搭配

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莱州湾凹陷明化镇组下段河道储层的地震地貌分析

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石油地球物理勘探 2012年第4期47卷 629-636,682+516页

作者：王治国尹成蒋志斌雷小兰西南石油大学资源与环境学院四川成都610500 西安交通大学波动与信息研究所陕西西安710049 新疆油田勘探开发研究院开发研究所新疆克拉玛依834000 长庆油田第二采气厂地质研究所陕西西安710200

为刻画莱州湾凹陷明化镇组下段的河道储层,从高精度三维地震数据体上提取11种能够突出河道特征的几何类地震属性;然后利用主分量三原色融合技术,将11种属性体沿层切片上的河道特征融合成一张高清晰的水平切片图像;再用地貌学方法对四期... 详细信息

为刻画莱州湾凹陷明化镇组下段的河道储层,从高精度三维地震数据体上提取11种能够突出河道特征的几何类地震属性;然后利用主分量三原色融合技术,将11种属性体沿层切片上的河道特征融合成一张高清晰的水平切片图像;再用地貌学方法对四期沿层切片中的75处蛇曲段的河道形态进行几何学参数测量,并分析了河道宽度、弯曲度、蛇曲高度、蛇曲宽度、蛇曲波长共五种几何学参数间的相互影响和数学关系。最终得到以下认识:①11种几何类地震属性数据沿层切片的前三主分量三原色融合,较单一的地震振幅数据沿层切片,能够更清晰地反映河道储层的地貌形态,从而测量出更精确的几何学参数值;②在莱州湾凹陷明化镇组下段,地层越老河道越发育,河道宽度集中在100～300m,蛇曲流域中单曲段多于多曲段,弯曲度集中在1.1～1.5,表明河道的侧向侵蚀作用不强;③上述五种几何学参数的定量测定表明,与现代河流一样,河流—浅水三角洲沉积体系中河道形态的几何学参数间同样服从幂函数或线性函数规律。这些研究结果为渤海湾盆地河道储层精确预测与地质建模提供了依据。

关键词：莱州湾凹陷明化镇组下段地震地貌学几何类地震属性河道形态几何学参数

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