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准分子激光光束均匀性的评价指标研究

强激光与粒子束 2004年第6期16卷 729-732页

作者：李红霞楼祺洪叶震寰董景星魏运荣凌磊中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800

详细研究了准分子激光光束均匀性的各项评价指标 ,加工窗口描述了加工任务本身对光束均匀度的要求 ;能量分数回答了具体加工窗口即均匀度要求下的能量利用率问题 ;平顶因子则描述了整个光斑能量分布范围内的均匀性问题。利用激光波面分... 详细信息

详细研究了准分子激光光束均匀性的各项评价指标 ,加工窗口描述了加工任务本身对光束均匀度的要求 ;能量分数回答了具体加工窗口即均匀度要求下的能量利用率问题 ;平顶因子则描述了整个光斑能量分布范围内的均匀性问题。利用激光波面分析仪对不同均匀器所获得的均匀光束进行评价比较 ,蝇眼透镜均匀器能量利用率高 ,整个光斑内的均匀效果好 ,但最佳均匀截面的位置动态范围小 ;组合棱镜均匀器均匀截面动态范围大。

关键词：准分子激光光束均匀性加工窗口平顶因子

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准分子激光全固态脉冲电源设计与实验研究

强激光与粒子束 2009年第11期21卷 1750-1754页

作者：游利兵梁勖余吟山李会王庆胜王效顺中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室合肥230031

针对脉冲能量5～8mJ的ArF准分子激光器，设计了基于可控硅开关结合三级磁脉冲压缩开关的全固态脉冲电源，采用园产可控硅和磁开关材料，获得了上升时间约150EIS，电压10～14kV，传递能量0．35～0．68j的激励脉冲，并实现了对准分子激光... 详细信息

针对脉冲能量5～8mJ的ArF准分子激光器，设计了基于可控硅开关结合三级磁脉冲压缩开关的全固态脉冲电源，采用园产可控硅和磁开关材料，获得了上升时间约150EIS，电压10～14kV，传递能量0．35～0．68j的激励脉冲，并实现了对准分子激光器快放电激励。三级磁开关总效率35％，分析表明磁开关损耗较大主要原因为电容能量转移不充分、导线铜损及磁芯材料铁损较大，并提出了相应改进办法。

关键词：准分子激光全固态脉冲电源磁开关可控硅磁脉冲压缩

准分子激光原位角膜磨镶术后角膜融解及相关因素的分析

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中华眼科杂志 2005年第4期41卷 330-334页

作者：李莹李海燕中国协和医科大学中国医学科学院北京协和医院眼科眼科研究中心 100730

目的探讨准分子激光原位角膜磨镶术(LASIK)后角膜融解的发病原因、临床表现及相关因素,为临床预防和治疗提供依据.方法对LASIK术后角膜融解患者11例(12只眼)进行临床分析,观察并记录临床表现;进行全身系统检查,尤其免疫学检查,明确诊断... 详细信息

目的探讨准分子激光原位角膜磨镶术(LASIK)后角膜融解的发病原因、临床表现及相关因素,为临床预防和治疗提供依据.方法对LASIK术后角膜融解患者11例(12只眼)进行临床分析,观察并记录临床表现;进行全身系统检查,尤其免疫学检查,明确诊断;采用局部给药配合全身疾病治疗方案,并观察疗效和转归.结果10例患者单眼发病,仅1例患者双眼发病.角膜融解部位为角膜瓣边缘,以下方和鼻侧多见;8只眼(67%)术中角膜上皮剥脱、角膜瓣过薄或术后角膜上皮水肿、角膜上皮植入.6例(55%)患者合并全身疾患,其中甲状腺炎1例(1只眼),系统性红斑狼疮2例(2只眼),干燥综合征2例(2只眼),类风湿性关节炎1例(1只眼);有浅层巩膜炎病史1例(1只眼),皮肤出现湿疹、红斑1例(1只眼),角膜瓣下异物1例(1只眼);无其他疾病者2例(3只眼).经眼局部使用环孢霉素A、糖皮质激素、抗生素及角膜保护剂配合全身疾病治疗,患者全部治愈;病程23～45d,平均30.3d;角膜病灶处残留不同程度薄翳或斑翳;角膜散光度数≥1.00D4只眼(1.00～5.50D),实际矫正视力低于预期矫正视力2行5只眼,1行2只眼,无下降5只眼.结论角膜融解是一种与全身性疾病有关的非感染性角膜疾病,LASIK可能为诱发因素.LASIK术前详细的全身系统性检查和术中规范的手术操作对减少角膜融解的发生至关重要.发病后在治疗眼部病变的同时配以全身病治疗,可获得满意效果.(中华眼科杂志,2005,41:330-334)

关键词：准分子激光原位角膜磨镶术角膜融解免疫学自身免疫疾病

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准分子激光光刻光源关键技术及应用

激光与光电子学进展 2022年第9期59卷 327-344页

作者：江锐中国科学院北京微电子研究所光电技术研发中心北京100029 北京科益虹源光电技术有限公司北京100176

准分子激光光源在光刻、工业制造、医疗和科研领域都有广泛的应用,特别是其波长、线宽、能量与剂量等指标在光刻领域有很大的优势,可以为光刻机带来更小的图像分辨率和更均匀的曝光图形。现阶段准分子激光器已用于7 nm光刻工艺,并日趋完... 详细信息

准分子激光光源在光刻、工业制造、医疗和科研领域都有广泛的应用,特别是其波长、线宽、能量与剂量等指标在光刻领域有很大的优势,可以为光刻机带来更小的图像分辨率和更均匀的曝光图形。现阶段准分子激光器已用于7 nm光刻工艺,并日趋完善,带来更低的运营成本、更高的产率和产量,从而推动整个半导体制造产业的发展。首先简单介绍了准分子激光原理,回顾了准分子激光的发展历史,调研了准分子激光在光刻上的应用现状,及国外准分子光刻光源的主流机型,继而重点阐述了部分应用在光刻中的准分子激光器的关键技术,并展望了准分子激光在光刻及集成电路制造其他环节应用的未来趋势,为我国准分子激光的自主可控发展提供有益借鉴。

关键词：光学设计与制造准分子激光光刻能量与剂量中心波长与线宽

准分子激光角膜切削术后角膜创面的愈合及皮质类固醇对愈合的影响

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中华眼科杂志 1996年第4期32卷 245-251页

作者：王铮李绍珍陈家祺杨斌郑湖铃中山医科大学中山眼科中心

目的研究准分子激光角膜切削术（ｐｈｏｔｏｒｅｆｒａｃｔｉｖｅｋｅｒａｔｅｃｔｏｍｙ，ＰＲＫ）后创面愈合过程及皮质类固醇对愈合的影响。方法６只猕猴双眼行ＰＲＫ后，右眼滴皮质类固醇激素眼液，左眼滴新霉素眼液。于术后４天、... 详细信息

目的研究准分子激光角膜切削术（ｐｈｏｔｏｒｅｆｒａｃｔｉｖｅｋｅｒａｔｅｃｔｏｍｙ，ＰＲＫ）后创面愈合过程及皮质类固醇对愈合的影响。方法６只猕猴双眼行ＰＲＫ后，右眼滴皮质类固醇激素眼液，左眼滴新霉素眼液。于术后４天、１、２周、１、３及６个月测量角膜厚度，并取角膜做免疫组化染色，检测Ⅲ、Ⅳ、Ⅶ型胶原、纤维连结蛋白和层粘连蛋白。结果术后１个月角膜Ⅶ型胶原的分布恢复正常状态；应用皮质类固醇可降低Ⅲ型胶原和纤维连结蛋白的沉积，且术后中央角膜厚度的变化较对照组更接近期望值。结论ＰＲＫ后角膜上皮细胞与基质可达到紧密的附着；皮质类固醇对减少术后角膜雾状混浊和屈光回退有一定作用。

关键词：角膜切削术准分子激光 PRK 伤口愈合愈合

准分子激光冠状动脉斑块消融术治疗慢性闭塞病变一例

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中华心血管病杂志 2018年第12期46卷 993-995页

作者：郭忱王效增李智张权宇北部战区总医院心血管内科沈阳110016

患者男性,70岁。主因“阵发性胸痛5年,加重半个月”入院。患者5年前开始出现阵发性胸痛,曾按冠心病治疗,口服阿司匹林及他汀类药物,一直有症状。半个月前胸痛加重,走路即出现胸痛、紧缩感,休息可自行缓解,就诊于外院,查心电图及血肌钙... 详细信息

患者男性,70岁。主因“阵发性胸痛5年,加重半个月”入院。患者5年前开始出现阵发性胸痛,曾按冠心病治疗,口服阿司匹林及他汀类药物,一直有症状。半个月前胸痛加重,走路即出现胸痛、紧缩感,休息可自行缓解,就诊于外院,查心电图及血肌钙蛋白诊断为“冠心病,不稳定性心绞痛”,为进一步治疗就诊于我院。

关键词：慢性闭塞病变冠状动脉斑块准分子激光治疗消融术不稳定性心绞痛他汀类药物阿司匹林

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准分子激光对钛宝石辐照作用的研究

中国激光 2004年第6期31卷 669-672页

作者：蒋成勇周国清徐军邓佩珍干福熹中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800

采用波长为 193nm的ArF准分子激光对钛宝石进行辐照 ,对比辐照前后的吸收光谱 ,2 18nm处的吸收增加幅度明显大于 193nm和 2 6 6nm的吸收峰。通过对不同品质因素 (FOM )值样品在 4 2 0nm处的荧光强度检测 ,发现FOM值随荧光强度减小而增... 详细信息

采用波长为 193nm的ArF准分子激光对钛宝石进行辐照 ,对比辐照前后的吸收光谱 ,2 18nm处的吸收增加幅度明显大于 193nm和 2 6 6nm的吸收峰。通过对不同品质因素 (FOM )值样品在 4 2 0nm处的荧光强度检测 ,发现FOM值随荧光强度减小而增大 ,对比钛宝石样品在准分子激光辐照前后的 4 2 0nm荧光谱 ,可以发现荧光强度明显降低。在检测样品的电子顺磁共振 (EPR)谱后发现 ,Ti3 + 离子的电子顺磁共振信号在辐照后强度明显增强。表明钛宝石在准分子激光辐照过程中有Ti4+ 离子向Ti3 + 离子转变趋势。

关键词：激光技术钛宝石准分子激光吸收谱荧光谱电子顺磁共振谱

准分子激光在甲烷中受激喇曼散射的阈值和光谱特性研究

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应用激光 1993年第1期13卷 1-4页

作者：楼祺洪叶震寰高鸿奕中国科学院上海光机所 201800

本文报导氯化氙准分子激光束在甲烷气体中的受激喇散射特性,研究了阈值与气压的关系,并观察到一些新的喇曼散射谱线。

关键词：准分子激光甲烷受激喇曼散射

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准分子激光直写二维图形加工

应用激光 2003年第3期23卷 144-146页

作者：魏仁选姜德生武汉理工大学光纤传感技术研究中心国家光纤传感技术工业性实验基地武汉430070

为了探索准分子激光脉冲直写加工的参数和工艺 ,建立准分子激光微加工系统和材料加工工艺 ,对二维加工过程中激光刻蚀效果与扫描速度和激光参数之间的关系进行了理论推导 ,分析表明最大扫描速度受激光光斑尺寸和重复频率的约束。以玻璃... 详细信息

为了探索准分子激光脉冲直写加工的参数和工艺 ,建立准分子激光微加工系统和材料加工工艺 ,对二维加工过程中激光刻蚀效果与扫描速度和激光参数之间的关系进行了理论推导 ,分析表明最大扫描速度受激光光斑尺寸和重复频率的约束。以玻璃为实验靶材 ,在 2 .7× 1mm2 范围内进行了二维图形刻蚀实验研究。结果显示 ,刻蚀对材料周围的热影响很小 ,刻蚀图形清洁而且清晰。

关键词：准分子激光直写刻蚀光斑微加工脉冲二维图形加工