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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 磷吸杂
  • 1 篇 少子寿命
  • 1 篇 热氧化
  • 1 篇 冶金法硅片
  • 1 篇 快速热处理

机构

  • 1 篇 厦门大学

作者

  • 1 篇 武智平
  • 1 篇 郑兰花
  • 1 篇 陈朝
  • 1 篇 李锦堂
  • 1 篇 陈文辉
  • 1 篇 潘淼
  • 1 篇 罗学涛

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=冶金法硅片"
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UMG多晶硅片的少子寿命
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太阳能学报 2013年 第1期34卷 45-49页
作者： 潘淼 郑兰花 武智平 罗学涛 陈文辉 李锦堂 陈朝 厦门大学物理系 福建省半导体照明工程技术研究中心厦门361005 厦门大学材料系 厦门361005
利用微波光电导衰减方法,研究磷吸杂、热氧化以及氮化硅钝化后快速热退火等工艺对物理冶金法制备的UMG硅片少子寿命的影响。实验发现:磷吸杂可有效改善冶金法硅片的少子寿命,其优化的条件是950℃处理4h;经热氧化处理后,少子寿命有所下降... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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