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文献类型

  • 2 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学

主题

  • 2 篇 共淀积
  • 1 篇 bi
  • 1 篇 ga
  • 1 篇 mbe
  • 1 篇 液相外延
  • 1 篇 生长速率
  • 1 篇 分子束外延技术
  • 1 篇 真空淀积
  • 1 篇 单原子
  • 1 篇 原子团簇
  • 1 篇 汽相外延
  • 1 篇 高能电子衍射仪
  • 1 篇 薄膜制备
  • 1 篇 光电子器件

机构

  • 1 篇 中国科学院物理研...
  • 1 篇 半导体功率器件可...
  • 1 篇 贵州省微纳电子与...
  • 1 篇 贵州大学

作者

  • 1 篇 周均铭
  • 1 篇 郭祥
  • 1 篇 丁召
  • 1 篇 马玉麟

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=共淀积"
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基于MBE技术进行Ga、Bi原子团簇共沉积制备的研究
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引用
原子与分子物理学报 2025年 73-77页
作者： 马玉麟 郭祥 丁召 贵州大学大数据与信息工程学院 贵州省微纳电子与软件技术重点实验室 半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心
由于GaAs1-xBix半导体具有较大的带隙收缩、良好的温度稳定性和强自旋轨道分裂等物理特性,因此研究其制备工艺对于解决远距探测和污染监测等应用需求,以及促进波长在2～20μm范围内的小型可靠半导体激光器具有重大意义.目前,对于GaAs1-x... 详细信息
来源： 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
分子束外延技术及其进展
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引用
真空科学与技术学报 1991年 第5期22卷 281-293页
作者： 周均铭 中国科学院物理研究所
由于高频、高速光电子器件发展的需要,器件工作层的厚度及尺寸愈来愈小,已经较成熟的液相外延、汽相外延、真空淀积等薄膜制备方法已不能满足要求。许多新发展起来的多层异质器件,在某些场合希望组分和掺杂有较陡的分布。
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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