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应用于比长仪的光电显微镜的设计

应用于比长仪的光电显微镜的设计

作者：王培芳长春理工大学

学位级别：硕士

光电显微镜是应用于微小结构观察和非接触测量的高精度瞄准仪器,本课题设计了一套应用于比长仪的光电显微镜系统,可以对玻璃或金属线纹刻尺进行高精度瞄准测量。在分析比长仪国内外发展现状的基础上,阐述了比长仪和光电显微镜的工作原理... 详细信息

光电显微镜是应用于微小结构观察和非接触测量的高精度瞄准仪器,本课题设计了一套应用于比长仪的光电显微镜系统,可以对玻璃或金属线纹刻尺进行高精度瞄准测量。在分析比长仪国内外发展现状的基础上,阐述了比长仪和光电显微镜的工作原理,提出了应用于比长仪的光电显微镜总体设计方案。着重设计光电显微镜的光学系统,根据使用要求计算出光电显微镜的设计参数,运用ZEMAX软件分别设计光电显微镜的物镜系统、观察系统和照明系统,并对设计结果进行公差分析。选取高灵敏度的光电倍增管作为光电转换器件,设计了前置放大电路。分析了影响光电显微镜瞄准精度的因素,并提出了解决方案,通过实验得出光电显微镜的瞄准精度为0.03μm。

关键词：光学设计比长仪光电显微镜光电倍增管测量精度

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光电显微镜在孔径测量中的应用

航空计测技术 2002年第6期22卷 11-12,46页

作者：何学军熊昌友李华峰何英中国航空长城计量测试技术研究所北京100095

静态光电显微镜在测量中可进行非接触瞄准 ,提高了瞄准精度 ,而且为检测自动化提供了可靠的基础。结合光电显微镜的瞄准原理。

关键词：光电显微镜孔径长度测量

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动态光电显微镜刻线瞄准信号的处理方法

计量技术 2008年第11期 12-16页

作者：张晓叶孝佑孙双花高宏堂常海涛中国计量学院计量测试工程学院杭州310018 中国计量科学研究院北京100013

研究了激光干涉比长仪的动态光电显微镜刻线瞄准信号的处理方法。分析了基于硬件电路的信号处理方法,及基于高速A/D采样、计算机数据处理的软硬件结合的信号处理方法,分别介绍了这两种方法的系统组成及工作原理。实验证明,前者抗干扰性... 详细信息

研究了激光干涉比长仪的动态光电显微镜刻线瞄准信号的处理方法。分析了基于硬件电路的信号处理方法,及基于高速A/D采样、计算机数据处理的软硬件结合的信号处理方法,分别介绍了这两种方法的系统组成及工作原理。实验证明,前者抗干扰性能差,瞄准精度低;后者实现对刻线信号均匀等距采样,瞄准精度高,在测量速度达3mm/s时,可实现2nm的瞄准分辨率。

关键词：光电显微镜 A/D转换数据处理瞄准精度

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动态光电显微镜

光学精密工程 1996年第3期4卷 95-99页

作者：杨进堂中国科学院长春光学精密机械研究所

介绍了用于检测光学度盘的动态光电显微镜的原理、光学系统、电子学系统及瞄准精度。

关键词：动态光电显微镜线纹检测光电脉冲

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动态可逆光电显微镜瞄准技术

计量技术 2001年第9期 16-17页

作者：郁有文程继红南京师范大学控制科学与工程系南京210042

以往介绍的动态光电显微镜瞄准技术 ,通常是指刻线单向运动时和固定狭缝的重复瞄准方法。而本文介绍的是指刻线在双向运动中可逆的重复瞄准技术。文章对这种高精度的线纹瞄准装置结构 ,电路特点及瞄准准确度作了介绍。该装置在实际应用... 详细信息

以往介绍的动态光电显微镜瞄准技术 ,通常是指刻线单向运动时和固定狭缝的重复瞄准方法。而本文介绍的是指刻线在双向运动中可逆的重复瞄准技术。文章对这种高精度的线纹瞄准装置结构 ,电路特点及瞄准准确度作了介绍。该装置在实际应用中 ,获得动态可逆瞄准准确度为 0 .0 7μm。

关键词：光电显微镜瞄准准确度光学系统瞄准技术测试光电转换

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光电显微镜在测长机上的应用

光学仪器 1980年第1期 22-26页

作者：李铭扬上海光学仪器研究所

一、方案分析目前对于光电显微镜的应用,我们都采用调制器方式的相敏法与脉冲相位法。它们共同点是采用单管差动系统,其求差讯号的获得是采用作简谐运动的调制器(振子),使线纹的像相对狭缝振动(或光缝的像相对线纹振动)。它们之间的区... 详细信息

一、方案分析目前对于光电显微镜的应用,我们都采用调制器方式的相敏法与脉冲相位法。它们共同点是采用单管差动系统,其求差讯号的获得是采用作简谐运动的调制器(振子),使线纹的像相对狭缝振动(或光缝的像相对线纹振动)。它们之间的区别在于电学处理方法上,前者是按照光电仗号幅度特征处理的,后者是按照光电仗号的相位特征处理的。由于处理方法不同,反映出来的仪器灵敏度受其他因素影响程度也不同。对于相敏法光电显微镜的仪器灵敏度为:

关键词：仪器文氏电桥相位脉冲振动狭缝光电显微镜光电接收元件测长机比较仪物镜放大倍数狭缝宽度光敏电阻光电脉冲

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光电显微镜中隔圈设计的公差控制

航空计测技术 2001年第5期21卷 41-42页

作者：张家远中国航空长城计量测试技术研究所

为了提高光电显微镜的瞄准精度 ,必须同时提高光学、机械两方面的设计水平 ,其中隔圈公差控制是保证光电显微镜精度的关键。本文详细地分析了隔圈的标注方法。

关键词：光电显微镜隔圈公差控制瞄准精度标注方法设计方法

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双功能静态光电显微镜的探讨

机械工程师 1989年第3期 9-11页

作者：何正叔胡育勤

一、引言静态光电显微镜是一种高精度瞄准器,大多用于线纹尺的刻制及检定中。我们对光亮法双功能静态光电显微镜的设计方案进行了研究和探讨,应用谐波分析理论,对两种功能状况下的静态光电显微镜的光电信号进行了计算与分析。结果表明,... 详细信息

一、引言静态光电显微镜是一种高精度瞄准器,大多用于线纹尺的刻制及检定中。我们对光亮法双功能静态光电显微镜的设计方案进行了研究和探讨,应用谐波分析理论,对两种功能状况下的静态光电显微镜的光电信号进行了计算与分析。结果表明,在现有仪器装备条件下,只需对电路稍加改装,并选用三次谐波分量做为测量的输出信号。

关键词：光电显微镜显微镜

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激光扫描光电显微镜

应用科学学报 1987年第1期 16-21页

作者：张淑仪陈力徐建生南京大学

本文报道了利用半导体材料和器件光电导效应研制成功的一种新型成象检测系统——光电显微镜.并用该显微镜对几种MOS功率管和TTL集成电路进行了静态和动态检测,其结果说明光电显微镜不但可用来检测各种集成电路(包括大规模集成电路)的静... 详细信息

本文报道了利用半导体材料和器件光电导效应研制成功的一种新型成象检测系统——光电显微镜.并用该显微镜对几种MOS功率管和TTL集成电路进行了静态和动态检测,其结果说明光电显微镜不但可用来检测各种集成电路(包括大规模集成电路)的静态缺陷,更重要的是可用于探查器件在工作情况下的逻辑状态、电荷分布及失效分析等,从而为分析集成电路提供一种非接触式、非破坏性、能用于常温常压的方便有效的检测方法.

关键词：光电显微镜半导体材料非破坏性电工材料光电流信号激光扫描