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学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 核科学与技术

主题

  • 2 篇 光学镜面抛光
  • 2 篇 静电透镜
  • 2 篇 氩离子枪
  • 2 篇 表面科学

机构

  • 2 篇 大连交通大学
  • 1 篇 中国科学院长春光...

作者

  • 2 篇 朱美强
  • 1 篇 邓伟杰
  • 1 篇 郭方准
  • 1 篇 石晓倩
  • 1 篇 唐瓦

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=光学镜面抛光"
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高能量大束流氩离子枪的研发
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核技术 2021年 第9期44卷 39-44页
作者： 朱美强 石晓倩 唐瓦 邓伟杰 郭方准 大连交通大学 大连116028 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 长春130033
为了实现对大口径碳化硅非球面反射镜的表面改性层硅的高精度快速抛光,设计制作了高能量大束流氩离子枪。通过热灯丝和阳极栅网的组合实现氩原子的离子化,通过调节氩离子所处区域的电位来确定离子的能量,通过静电聚焦透镜来实现氩离子... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
高能量大束流氩离子枪的研发
高能量大束流氩离子枪的研发
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作者： 朱美强 大连交通大学
学位级别：硕士
大口径非球面镜是空间科学研究、热核聚变、强激光发射和天文光学等领域中的核心部件,离子束抛光是非球面镜制作的主要技术之一。实验室作为表面处理而通常使用的氩离子枪能量在数百至两千电子伏特之间,喷射到样品表面之后实现对表面原... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
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