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计算机修正任意膜厚误差的宽带光学监控法

仪表技术与传感器 1980年第6期 13-17页

作者：王显厚沈阳仪器仪表工艺研究所

本文介绍了法国薄膜研究中心近期所从事的任意膜厚的研究成果:在宽带光学监控系统中,用实时工作的小型计算机,在每一层淀积之后,确定出实际淀积的膜厚,把误差考虑到下一层的淀积中去,修改监控的评价函数,从而可以保证下一层的淀积膜厚... 详细信息

本文介绍了法国薄膜研究中心近期所从事的任意膜厚的研究成果:在宽带光学监控系统中,用实时工作的小型计算机,在每一层淀积之后,确定出实际淀积的膜厚,把误差考虑到下一层的淀积中去,修改监控的评价函数,从而可以保证下一层的淀积膜厚。这种逐层修正的办法可以避免镀膜过程中膜厚误差的累积效应。同样的方法也可以用来修正折射率的误差。所以这种宽带监控系统能够做到理想地监控,任何期望的宽带滤光片都可圆满地完成。

关键词：计算机评价函数误差累积膜厚淀积光学监控零值光谱特性宽带实时工作

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薄膜光学监控信号的数字信号处理

光学仪器 2004年第2期26卷 95-98页

作者：马孜肖琦姚德武西南技术物理所四川成都610041

为提高光学薄膜的监控精度和薄膜产品成品率,分别采用经典和现代滤波技术设计了相应的数字滤波器,对薄膜光学监控信号进行了处理,对光学监控信号极值点附近的信号进行了分析。理论模拟的结果表明,经典滤波器和现代滤波器对薄膜监控信号... 详细信息

为提高光学薄膜的监控精度和薄膜产品成品率,分别采用经典和现代滤波技术设计了相应的数字滤波器,对薄膜光学监控信号进行了处理,对光学监控信号极值点附近的信号进行了分析。理论模拟的结果表明,经典滤波器和现代滤波器对薄膜监控信号的噪声均有较大的滤出作用,但均造成了信号的延迟。进一步用可编程序控制器和组态软件建立了一套监控系统,将两种滤波器串联使用,在可接受的信号延迟时间下,镀制了单腔滤光片,在实验中将光学监控信号的均方根信噪比提高了6DB以上,验证了数字滤波器的作用。

关键词：光学监控数字滤波数字信号处理光学薄膜

非1/4波长多层滤光片的宽带光学监控及厚度误差的修正

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激光与红外 1980年第10期 69-72页

作者：振德

本文介绍非1/4波长多层滤光片的宽带光学监控方法和实验装置,品质函数的计算,厚度误差的修正及电子计算机在膜厚控制中的应用。

关键词：滤光片光学特性多层膜光谱曲线光学薄膜光学监控厚度误差膜层厚度宽带波长

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薄膜光学监控信号的数字信号处理

薄膜光学监控信号的数字信号处理

2004年光学仪器研讨会

作者：马孜肖琦姚德武西南技术物理所

关键词：薄膜光学监控数字滤波

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基于自适应卡尔曼滤波的光学监控信号处理

基于自适应卡尔曼滤波的光学监控信号处理

中国光学学会2006年学术大会

作者：赵汝进马孜姚远程何长涛西南科技大学信息工程学院西南技术物理研究所西南科技大学信息工程学院四川大学电子信息学院

针对光学监控系统（Optical Monitor System,OMS）实际工作环境的复杂性,导致监控信号中存在不稳定量测噪声,本文采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波（Adaptive Kalman Filter,AKF）对光学膜厚监控信号进行去噪处理。建立了针对非线性... 详细信息

针对光学监控系统（Optical Monitor System,OMS）实际工作环境的复杂性,导致监控信号中存在不稳定量测噪声,本文采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波（Adaptive Kalman Filter,AKF）对光学膜厚监控信号进行去噪处理。建立了针对非线性OMS的AKF模型,仿真分析中针对存在突变信噪比（Signal-to-Noise,SNR）的输入信号设置相应AKF初始参数使滤波性能达到最优。结果表明自AKF输出监控信号精度明显优于常规卡尔曼滤波;同时利用AKF输出监控信号判读反射率极值点对应膜厚,最终理论膜厚监控误差＜2nm。

关键词：薄膜自适应卡尔曼滤波光学监控信噪比

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薄膜滤光片淀积过程实时光学监控系统

光学仪器 2004年第2期26卷 105-108页

作者：林宇翔章岳光顾培夫唐晋发浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027

介绍了一种薄膜制造实时光学监控系统,对监控系统的组成及各个模块的功能和工作原理进行分析。系统由计算机对信号进行采集、分析和判断,根据膜层的不同特点采取相应的监控方式,可以对各种规整和非规整膜系进行监控,自动开闭蒸发源挡板。

关键词：薄膜滤光片淀积光学监控实时监控系统光学薄膜膜厚控制

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薄膜滤光片淀积过程实时光学监控系统

薄膜滤光片淀积过程实时光学监控系统

2004年光学仪器研讨会

作者：林宇翔章岳光顾培夫唐晋发浙江大学现代光学仪器国家重点实验室

关键词：薄膜滤光片实时光学监控计算机

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基于广义卡尔曼滤波的光学膜厚监控信号处理

激光技术 2007年第4期31卷 412-415页

作者：赵汝进马孜姚远程何长涛西南科技大学信息工程学院绵阳621002 西南技术物理研究所成都610041 四川大学电子信息学院成都610064

为了解决光学膜厚监控系统中经锁相放大输出的监控信号精度较低、极值点附近变化不灵敏等问题,采用卡尔曼滤波(KF)对光学膜厚监控信号进行处理,建立了针对非线性光学监控系统的扩展KF模型,模型输出包括监控信号和导数信号。仿真分析首... 详细信息

为了解决光学膜厚监控系统中经锁相放大输出的监控信号精度较低、极值点附近变化不灵敏等问题,采用卡尔曼滤波(KF)对光学膜厚监控信号进行处理,建立了针对非线性光学监控系统的扩展KF模型,模型输出包括监控信号和导数信号。仿真分析首先利用TFCalc软件生成4层增透膜理想监控曲线,加入高斯噪声后,信噪比为15dB,通过卡尔曼滤波处理后监控信号信噪比改善达16dB且实时动态跟踪特性良好,延时小于1 s;利用平均值滤波处理KF输出导数信号,提前预判读获取导数过零点对应膜厚。同时通过对比TFCalc理想监控曲线极值点坐标和预判导数信号过零点坐标,得到理论膜厚误差小于4nm。此项研究提高了膜厚检测的准确性。

关键词：薄膜卡尔曼滤波光学监控信噪比

基于V/F变换下的数字相敏检测监控光学膜厚

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激光杂志 2007年第3期28卷 77-78页

作者：赵汝进马孜姚远程何长涛西南科技大学信息工程学院绵阳621002 西南技术物理研究所成都610041 四川大学电子信息学院成都610064

本文采用基于电压-频率变换(V/F)的数字相敏检测技术应用于光学监控信号检测,得到的被检测信号的幅度,即光学监控信号波形。而且针对光学监控系统中被检测信号特点,从理论分析角度说明了本方案抑制被检测信号低次谐波和白噪声的性能.仿... 详细信息

本文采用基于电压-频率变换(V/F)的数字相敏检测技术应用于光学监控信号检测,得到的被检测信号的幅度,即光学监控信号波形。而且针对光学监控系统中被检测信号特点,从理论分析角度说明了本方案抑制被检测信号低次谐波和白噪声的性能.仿真分析中针对加入了2,3,4次谐波和零均值随机白噪声,信噪比为20dB,频率为166Hz的被检测信号,利用本方案检测出光学监控信号反射率最大误差光学监控信号和理想监控信号读取反射率极值点对应薄膜厚度,对比可知采用本方案监控膜厚理论误差<2nm。

关键词：薄膜相敏检测光学监控