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文献类型

  • 1 篇 期刊文献
  • 1 篇 学位论文

馆藏范围

  • 2 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 1 篇 机械工程
    • 1 篇 光学工程
  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学

主题

  • 2 篇 光学显微干涉
  • 1 篇 无损测量
  • 1 篇 comsol仿真
  • 1 篇 自动对焦
  • 1 篇 硅通孔形貌
  • 1 篇 拼接路径
  • 1 篇 自适应像差补偿
  • 1 篇 表面形貌
  • 1 篇 图像拼接

机构

  • 1 篇 天津大学
  • 1 篇 南京理工大学

作者

  • 1 篇 郭珍艳
  • 1 篇 高志山
  • 1 篇 张金良
  • 1 篇 吴春霞
  • 1 篇 袁群
  • 1 篇 马剑秋

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=光学显微干涉"
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基于像差补偿的近红外显微干涉硅通孔测量
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光学精密工程 2023年 第3期31卷 301-312页
作者： 吴春霞 马剑秋 高志山 郭珍艳 袁群 南京理工大学电子工程与光电技术学院 江苏南京210094
为了实现深宽比大于6∶1的硅通孔的形貌测量,提出了一种基于像差补偿的近红外显微干涉检测方法。该方法采用近红外宽带光作为光源,能够穿透硅通孔,检测系统中内置变形镜自适应像差补偿模块,主动补偿硅通孔引入的调制像差。在检测硅通孔... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 博看期刊 评论
大范围微结构表面形貌测试中若干关键技术的研究
大范围微结构表面形貌测试中若干关键技术的研究
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作者： 张金良 天津大学
学位级别：硕士
微结构几何量特征参数与其构成的器件的性能是密切相关的?随着科学技术的发展,越来越多的微器件是由微结构阵列来实现相应的功能的,阵列中每个功能单元的尺寸一般在亚毫米量级,但是由成千上万个功能单元构成的微器件的整体尺寸在毫米或... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
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