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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学

主题

  • 1 篇 光互连
  • 1 篇 激光技术
  • 1 篇 光波导
  • 1 篇 激光消融
  • 1 篇 准分子激光
  • 1 篇 光印刷背板

机构

  • 1 篇 上海大学

作者

  • 1 篇 顾鑫
  • 1 篇 邓传鲁
  • 1 篇 王廷云
  • 1 篇 庞拂飞
  • 1 篇 贾娜娜

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=光印刷背板"
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光波导端面的准分子激光刻蚀技术研究
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中国激光 2015年 第3期42卷 120-125页
作者： 贾娜娜 邓传鲁 庞拂飞 顾鑫 王廷云 上海大学特种光纤与光接入网省部共建重点实验室 上海200072 上海大学通信与信息工程学院 上海200072
面向光印刷互连背板的应用需求,提出基于准分子激光消融原理对光波导的刻蚀技术进行研究,在背板上任意位置获得光波导端面实现光耦合。采用193 nm波长的准分子激光作为光源,通过方形掩模孔径投影在互连背板光波导上,研究了激光能量、激... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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