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文献类型

  • 2 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 2 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 2 篇 计算机科学与技术...
    • 1 篇 软件工程
  • 1 篇 经济学
    • 1 篇 应用经济学

主题

  • 2 篇 光刻区调度
  • 1 篇 深度强化学习
  • 1 篇 工艺约束
  • 1 篇 并行多机
  • 1 篇 晶圆制造系统
  • 1 篇 门控循环单元(gru...
  • 1 篇 多目标
  • 1 篇 extend仿真

机构

  • 1 篇 上海理工大学
  • 1 篇 东华大学
  • 1 篇 上海应用技术大学

作者

  • 1 篇 钱省三
  • 1 篇 金克山
  • 1 篇 石津铭
  • 1 篇 宁凝
  • 1 篇 张洁
  • 1 篇 孟志雷
  • 1 篇 吴立辉

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=光刻区调度"
2 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
基于门控循环单元强化学习的晶圆光刻实时调度方法研究
收藏 引用
工业工程 2024年 第3期27卷 12-21,30页
作者: 吴立辉 石津铭 金克山 张洁 上海应用技术大学机械工程学院 上海201400 东华大学人工智能研究院 上海201620
为求解具有动态性、实时性、多约束、多目标特点的晶圆光刻区调度问题,提出一种基于门控循环单元强化学习的晶圆光刻实时调度方法。设计引入门控循环单元学习光刻历史调度决策与状态的时序信息,为双深度强化学习模型提供辅助决策信... 详细信息
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
带有工艺约束的并行多机调度策略
收藏 引用
工业工程 2008年 第2期11卷 62-65页
作者: 宁凝 钱省三 孟志雷 上海理工大学管理学院 上海200093
针对光刻设备组的生产特点,基于最小化加工时间对其调度问题建立了整数规划数学模型,并提出了一种启发式调度策略。运用Extend仿真软件对传统的FCFS和启发式调度策略分别进行仿真,结果表明,启发式调度策略在减少加工时间和提高设备利用... 详细信息
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