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文献类型

  • 2 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 2 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 1 篇 机械工程
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 2 篇 光刻剥离
  • 1 篇 传感器阵列
  • 1 篇 双色滤光片
  • 1 篇 陶瓷微热板
  • 1 篇 微机电系统
  • 1 篇 聚酰亚胺

机构

  • 1 篇 中国空空导弹研究...
  • 1 篇 哈尔滨理工大学

作者

  • 1 篇 于洋
  • 1 篇 王向鑫
  • 1 篇 何英杰
  • 1 篇 苏现军
  • 1 篇 赵文杰
  • 1 篇 施云波
  • 1 篇 杨守杰
  • 1 篇 王海珍

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=光刻剥离"
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双色滤光片光刻剥离技术研究
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内江科技 2008年 第11期29卷 100-100,147页
作者： 王海珍 何英杰 苏现军 中国空空导弹研究院
文中利用聚酰亚胺高聚物的耐温性和高粘度性,巧妙地和光刻胶结合,解决了厚膜镀制中光刻胶炭化难以剥离的问题;利用聚酰亚胺在碱性显影液中有很好的可溶性,优化了光刻胶和聚酰亚胺的厚度比,得到了好的工艺参数和易于剥离的面形,解决了小... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
AlN陶瓷微热板MEMS传感器阵列设计与工艺实现
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传感器与微系统 2015年 第8期34卷 87-90页
作者： 赵文杰 杨守杰 于洋 王向鑫 施云波 哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院测控技术与仪器黑龙江省高校重点实验室 黑龙江哈尔滨150080
针对陶瓷基微热板MEMS器件难以微加工,器件表面加热Pt膜使用普通正性光刻胶难以实现光刻剥离的工艺难点问题,提出了激光微加工和柔性机械剥离相结合的微加工方法。以Al N陶瓷为衬底基片,采用激光微加工技术实现热隔离刻蚀体加工,刻蚀梁... 详细信息
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