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  • 3 篇 期刊文献
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  • 4 篇 工学
    • 3 篇 机械工程
    • 2 篇 材料科学与工程（可...
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  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
    • 1 篇 化学
  • 1 篇 管理学
    • 1 篇 公共管理

主题

  • 4 篇 兆声振动
  • 2 篇 抛光液
  • 2 篇 硅片
  • 2 篇 化学机械抛光
  • 2 篇 抛光垫孔隙
  • 1 篇 声传播
  • 1 篇 流动特性
  • 1 篇 响应面分析
  • 1 篇 晶圆划刻
  • 1 篇 有限元分析
  • 1 篇 抛光机理
  • 1 篇 激光加工

机构

  • 3 篇 辽宁工业大学
  • 1 篇 河北大学
  • 1 篇 大连理工大学

作者

  • 2 篇 翟科
  • 2 篇 何勍
  • 2 篇 李小龙
  • 1 篇 王一帆
  • 1 篇 田恩宝
  • 1 篇 任奕
  • 1 篇 李亮
  • 1 篇 薛寒
  • 1 篇 杨子昊
  • 1 篇 杜立群

语言

  • 4 篇 中文
检索条件"主题词=兆声振动"
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液固耦合传递兆声振动复合化学机械抛光研究
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纳米技术与精密工程 2016年 第6期14卷 416-420页
作者： 翟科 任奕 何勍 辽宁工业大学振动工程研究所 锦州121001
采用液固耦合形式的抛光工具头,实现了兆声作用的柔性灵活附加,计算了多层中间介质情况下的声能量透射率,在此基础上开展了兆声作用下的硅片化学机械抛光实验研究.结果表明,较之传统抛光,在兆声复合抛光作用下硅片的表面质量得到了明显... 详细信息
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抛光液在兆声振动作用下的流动特性仿真
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辽宁工业大学学报（自然科学版） 2019年 第3期39卷 173-176页
作者： 李小龙 何勍 李亮 辽宁工业大学机械工程与自动化学院 辽宁锦州121001 辽宁工业大学理学院 辽宁锦州121001
为研究兆声辅助化学机械抛光中振动对抛光液流体的影响。采用理论分析方法,研究兆声振动在抛光液中产生的声辐射压力,利用有限元分析,建立抛光过程中抛光垫单孔隙、抛光液层、声源等简化模型,研究兆声振动作用到抛光液中后抛光液的运动... 详细信息
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面向晶圆划刻的兆声辅助激光加工实验研究
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电加工与模具 2024年 第4期 50-54,60页
作者： 翟科 王一帆 杨子昊 田恩宝 薛寒 杜立群 河北大学质量技术监督学院 河北保定071002 大连理工大学机械工程学院 高性能精密制造全国重点实验室辽宁大连116024
针对晶圆划刻中激光加工易产生重铸层且得到的沟槽深宽比小等问题,提出了兆声辅助激光加工方法,对激光烧蚀与兆声振动理论进行分析,并利用响应面分析法对加工参数进行优化。结果表明,兆声波能够将烧蚀产生的液相材料和熔融碎屑击出烧蚀... 详细信息
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兆声辅助抛光中抛光液分布特性与抛光机理研究
兆声辅助抛光中抛光液分布特性与抛光机理研究
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作者： 李小龙 辽宁工业大学
学位级别：硕士
芯片在全球科技领域中具有重要意义,堪称智能设备的“大脑”。而硅片作为芯片的衬底材料,它的表面质量决定着芯片的性能。本文以兆声振动辅助硅片化学机械抛光工艺为基础,分析兆声辅助抛光中一维接触模型以及抛光液的分布特性。针对抛... 详细信息
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